TAC 코팅 링

Veteksemi TAC 코팅 링은 반도체 제조 공정에 맞게 조정 된 고성능 구성 요소입니다. 유일하게 설계된 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅은 제품에 탁월한 고온 저항, 부식성 및 기계적 안정성을 제공하여 반도체 장비에서 흑연 구성 요소의 서비스 수명과 신뢰성을 크게 향상시킵니다.

탄탈 럼 탄화물 코팅의 우수한 성능 ：

● 초고 온도 저항 : TAC 코팅은 최대 2200 ° C의 극한 온도를 쉽게 견딜 수 있으며 반도체 제조에서 흔히 볼 수있는 열 충격 환경에서는 안정적으로 유지할 수 있습니다.

● 우수한 화학적 안정성 : 코팅은 수소, 암모니아, 실란 및 실리콘과 같은 일반적인 부식성 가스에 대한 강한 저항성을 보여 주어 화학 공격으로부터 기질을 효과적으로 보호합니다.

● 우수한 기계적 특성 : TAC 코팅은 경도가 높고 내마모성이 높고 열 충격 저항이 우수하며 가혹한 작업 조건에서 오랫동안 안정적으로 작동 할 수 있습니다.

● 우수한 접착력 : 코팅은 흑연 기판에 단단히 결합되어 코팅이 껍질을 벗기지 못하고 제품의 서비스 수명 동안 일관된 성능을 보장합니다.

● 고순도 : CVD에 의해 제조 된 TAC 코팅은 순도가 매우 높기 때문에 불순물의 도입을 최소화하고 반도체 제조를위한 깨끗한 공정 환경을 제공합니다.

탄탈 룸 탄화물 코팅 링의 장점 :

● 확장 장비 수명: TAC 코팅은 화학 반응 및 불순물 확산을 효과적으로 차단하여 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 크게 연장하고 유지 보수 비용을 줄입니다.

● 생산 효율성을 향상시킵니다: 제품의 고온 저항과 부식 저항을 통해보다 까다로운 조건에서 작동하여 생산주기를 단축하고 생산 능력을 증가시킬 수 있습니다.

● 제품 품질 향상: 고순도 TAC 코팅은 오염을 줄여 반도체 제품의 품질과 일관성을 보장합니다.

Vetek 반도체는TAC 코팅 척, TAC 코팅 회전 플레이트, TAC 코팅 서브, TAC 코팅 웨이퍼 감수기수년 동안. 당사의 TAC 코팅 링 제품은 확장 장비 수명, 생산 효율성 향상 및 제품 품질 향상 기능이 있습니다. 동시에 Vetek Semiconductor는 오랫동안 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다. 

흑연 및 탄탈 룸 카바이드 물질의 다른 화학적 특성으로 인해, 열 팽창 계수는 일치하지 않으며, 매트릭스의 표면에 부분적으로 퇴적 된 탄탈 럼 카바이드 코팅을 촉진하기 위해 특정 공정을 통해 Vetek 반도체에 의해 고온에서 가열되기 쉽다. 이러한 방식으로, 탄탈 룸 카바이드 코팅은 현장 내 성장을 통해 흑연 매트릭스에 단단히 중첩되어 코팅과 매트릭스 사이의 결합력을 상당히 증가시키고 탄탈 룸 카바이드 코팅의 필링을 효과적으로 방지합니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 바랍니다.

탄탈 룸 카바이드 코팅 링 상점 :