핫 존 흑연 히터

Vetek 반도체 핫 존 흑연 히터는 고온 용광로 내에서 발견되는 극한 조건을 처리하도록 설계되었습니다. 히터는 아래에 나열된 특정 제품 기능에 따라 고온 처리에서 일반적으로 발견되는 가혹한 환경을 견딜 수 있습니다.

● 균일 한 온도 분포

Hot Zone Graphite 히터는 고정밀 재료 선택과 정밀 처리 기술의 완벽한 조합으로 인해 균일 한 가열 특성으로 유명합니다. 이러한 균일 성은 전체 가열 표면에 걸쳐 온도의 원활한 분포를 보장하여 열 구배로 인해 고르지 않은 웨이퍼 처리를 효과적으로 감소시켜 제품 수율 및 장비 성능 일관성을 향상시킵니다.

● 탁월한 부식 저항

핫 존을위한 흑연 히터는 고온 반도체 제조 공정에서 발생하는 다양한 부식 가스 및 화학 물질에 대한 강한 저항성을 나타냅니다. 흑연 재료의 자연적인 불활성으로 인해 흑연 히터는 거친 환경에서 장기 안정성을 유지하여 오염 위험을 크게 줄이고 장비의 서비스 수명을 확장 할 수 있습니다.

● 우수한 항산화 성능

전통적인 흑연 물질과 비교하여, 핫 존 흑연 히터는 여전히 고온에서 우수한 항산화 능력을 가지고 있습니다. 이 특징은 고온 가공 동안 히터 표면의 산화 적 악화를 방지하고 가공 챔버에서 입자 오염의 생성을 피하여 장비의 지속적인 효율적인 작동을 보장하는 데 중요합니다.

● 매우 높은 화학적 순도

엄격한 가공 후, 우리의 흑연 히터는 매우 높은 수준의 화학적 순도에 도달하여 반도체 처리 환경에 유해한 불순물의 도입을 효과적으로 방지했습니다. 이 순도는 정밀 반도체 재료의 무결성을 보호하고 예상되는 전기 및 광학적 특성을 충족하는 장치를 생산하는 데 중요합니다.

● 높은 기계적 강도 및 안정성

Veteksemicon의 Hot Zone Graphite 히터는 우수한 기계적 강도 및 치수 안정성을 가지며, 고온 작동 조건에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 열 사이클이 빈번하거나 기계적 응력에 직면하든 핫 존을위한 흑연 히터는 견고성을 유지하고 가혹한 반도체 처리 환경에 대한 견고하고 신뢰할 수있는 지원을 제공합니다.

또한 Veteksemicon은 다양한 반도체 제조 공정의 요구를 충족시키기 위해 흑연 히터의 다양한 맞춤형 크기와 구성을 제공합니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 바랍니다.