실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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EPI 서포터가 설정 한 경우 LPE

평평한 감수자와 배럴 감수자는 EPI 감수자의 주요 모양입니다. Vetek Semiconductor는 중국의 주요 LPE SI EPI 감수자 세트 제조업체 및 혁신가입니다. 우리는 수년간 SIC 코팅 및 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다. LPE PE2061S 4 "WAFERS를 위해 특별히 설계된 세트. 흑연 물질과 SIC 코팅의 일치하는 정도는 양호하고, 균일 성이 우수하고, 수명이 길고, 이는 LPE (액체 상 에피 택시) 동안 에피 택셜 층 성장의 수율을 향상시킬 수 있습니다. 과정. 중국의 공장을 방문하도록 환영합니다.

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AIXTRON G5 MOCVD 감수자

AIXTRON G5 MOCVD 시스템은 흑연 물질, 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 석영, 강한 펠트 재료 등으로 구성됩니다. Vetek 반도체는이 시스템의 전체 구성 요소를 사용자 정의하고 제조 할 수 있습니다. 우리는 수년간 반도체 흑연 및 석영 부품을 전문으로 해왔습니다.

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EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터

배럴 유형 에피 택셜 웨이퍼 난방베이스는 복잡한 가공 기술을 갖춘 제품으로 가공 장비 및 능력에 매우 어려운 제품입니다. Vetek Semiconductor는 EPI를위한 SIC 코팅 흑연 배럴 감수자를 처리하는 고급 장비와 풍부한 경험을 가지고 있으며, 원래 공장 수명,보다 비용 효율적인 epitaxial 배럴과 동일하게 제공 할 수 있습니다. 우리의 데이터에 관심이 있다면, PLS는 저희에게 연락하지 않습니다.

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SIC 코팅 된 흑연 도가니 디플렉터

SiC 코팅 흑연 도가니 편향기는 단결정로 장비의 핵심 구성 요소이며, 그 임무는 용융된 재료를 도가니에서 결정 성장 영역으로 원활하게 안내하고 단결정 성장의 품질과 모양을 보장하는 것입니다.Vetek 반도체는 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 흑연 및 SiC 코팅 재료를 모두 제공합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.

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4" 웨이퍼용 MOCVD 에피택셜 서셉터

4" 웨이퍼용 MOCVD 에피택시 서셉터는 4" 에피택셜 층을 성장시키도록 설계되었습니다. VeTek Semiconductor는 맞춤형 흑연 재료 및 SiC 코팅 프로세스를 통해 4" 웨이퍼용 고품질 MOCVD 에피택셜 서셉터를 제공하는 데 전념하는 전문 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 고객에게 전문적이고 효율적인 솔루션을 제공할 수 있습니다. 우리와 소통하실 수 있습니다.

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