실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 정의 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 운송 업체 공급 업체이며 20 년 이상 고급 재료를 전문으로 해왔으며, SIC 에피 탁시 층을 운반하기 위해 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어를 제공하여 SIC 에피 톡스 반응기에서 성장합니다. 이 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어는 반달 부분, 고온 저항, 산화성, 내마모성의 중요한 SIC 코팅 된 부분입니다. 우리는 중국의 공장을 방문하여 언제든지 상담하십시오.

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SIC 코팅 MOCVD 감수자

Veteksemicon의 SIC 코팅 MOCVD 감수자는 우수한 프로세스, 내구성 및 신뢰성을 가진 장치입니다. 그들은 고온과 화학 환경을 견딜 수 있고 안정적인 성능과 장수를 유지하여 교체 및 유지 보수 빈도를 줄이고 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 우리의 MoCVD 에피 택셜 감수자는 고밀도, 탁월한 평평성 및 우수한 열 제어로 유명하여 가혹한 제조 환경에서 선호되는 장비입니다. 당신과 협력하기를 기대하십시오. 언제든지 상담하십시오.

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SIC 코팅 ICP 에칭 캐리어

Veteksemicon Sic 코팅 ICP 에칭 캐리어는 가장 까다로운 에피 택시 장비 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 고품질 울트라 푸드 흑연 재료로 만들어진 SIC 코팅 ICP 에칭 캐리어는 매우 평평한 표면과 탁월한 부식 저항을 가지고 있으며 취급 중에 가혹한 조건을 견딜 수 있습니다. SIC 코팅 캐리어의 높은 열전도율은 우수한 에칭 결과를위한 열 분포를 보장합니다.

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반도체를위한 PSS 에칭 캐리어 플레이트

반도체 용 Vetek 반도체의 PSS 에칭 캐리어 플레이트는 웨이퍼 처리 프로세스를 위해 설계된 고품질의 초 구지 흑연 캐리어입니다. 우리의 캐리어는 성능이 뛰어나고 가혹한 환경, 고온 및 가혹한 화학적 세정 조건에서 잘 수행 할 수 있습니다. 우리의 제품은 많은 유럽 및 미국 시장에서 널리 사용되며 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다. 공장을 방문하고 기술과 제품에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.

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빠른 열 어닐링 감수자

Vetek Semiconductor는 반도체 산업에 고성능 솔루션을 제공하는 데 중점을 둔 중국의 주요 빠른 열적 어닐링 감수자 제조업체 및 공급 업체입니다. 우리는 SIC 코팅 재료 분야에 수년간의 깊은 기술적 축적이 있습니다. 우리의 빠른 열적 어닐링 감수자는 웨이퍼 에피 택셜 제조의 요구를 충족시키기 위해 우수한 고온 저항과 우수한 열전도도를 가지고 있습니다. 기술과 제품에 대해 자세히 알아 보려면 중국의 공장을 방문하여 환영합니다.

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실리콘 기반 간 에피 택셜 감수기

실리콘 기반 GAN 에피 택셜 감수기는 GAN 에피 택셜 생산에 필요한 핵심 성분입니다. Veteksemicon Silicon 기반 GAN 에피 택셜 감수자는 실리콘 기반 GAN 에피 택셜 반응기 시스템을 위해 특별히 설계되었으며, 고순도, 탁월한 고온 저항 및 부식 저항과 같은 장점이 있습니다. 추가 상담을 환영합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.