실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

View as

4" 웨이퍼용 MOCVD 에피택셜 서셉터

4" 웨이퍼용 MOCVD 에피택시 서셉터는 4" 에피택셜 층을 성장시키도록 설계되었습니다. VeTek Semiconductor는 맞춤형 흑연 재료 및 SiC 코팅 프로세스를 통해 4" 웨이퍼용 고품질 MOCVD 에피택셜 서셉터를 제공하는 데 전념하는 전문 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 고객에게 전문적이고 효율적인 솔루션을 제공할 수 있습니다. 우리와 소통하실 수 있습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

G5에 대한 Gan 에피 택셜 흑연 지원

VeTek Semiconductor는 G5용 고품질 GaN 에피택셜 흑연 서셉터를 제공하는 데 전념하는 전문 제조업체 및 공급업체입니다. 국내외 수많은 유명 기업들과 장기적이고 안정적인 파트너십을 구축하여 고객의 신뢰와 존경을 받고 있습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

반도체 감수자 블록 SIC 코팅

Vetek 반도체의 반도체 감수체 감수자 블록 SIC 코팅은 매우 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 장치입니다. 안정적인 성능과 긴 수명을 유지하면서 고온과 가혹한 화학 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 우수한 프로세스 기능을 갖춘 반도체 감수자 블록 SIC 코팅은 교체 및 유지 보수 빈도를 감소시켜 생산 효율을 향상시킵니다. 우리는 언제든지 협력 할 수있는 기회를 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

매우 순수한 흑연 하부 반달

Vetek Semiconductor는 중국의 맞춤형 초대형 흑연 하반부의 주요 공급 업체로서 수년간 고급 재료를 전문으로합니다. 우리의 Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon은 Sic Epitaxial 장비를 위해 특별히 설계되어 뛰어난 성능을 보장합니다. Ultra-Pure 가져 오기 흑연으로 제작 된이 제품은 신뢰성과 내구성을 제공합니다. 중국의 공장을 방문하여 고품질 Ultra Pure Graphite Halfmoon을 직접 탐색하십시오. 언제든지 상담하십시오.

더보기 >> 문의 보내기 >>

상단 반달 부분 SIC 코팅

Vetek Semiconductor는 20 년 이상 고급 재료를 전문으로하는 중국에서 맞춤형 상단 하프문 파트 SIC 코팅의 선도적 인 공급 업체입니다. Vetek 반도체 상단 반달 부분 SIC 코팅은 SIC 에피 택셜 장비를 위해 특별히 설계되었으며, 반응 챔버에서 중요한 성분으로 사용됩니다. 초고, 반도체 등급 흑연으로 제작 된이 제품은 탁월한 성능을 보장합니다. 우리는 당신이 중국의 공장을 방문하도록 초대합니다. 언제든지 상담하십시오.

더보기 >> 문의 보내기 >>

실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 정의 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 운송 업체 공급 업체이며 20 년 이상 고급 재료를 전문으로 해왔으며, SIC 에피 탁시 층을 운반하기 위해 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어를 제공하여 SIC 에피 톡스 반응기에서 성장합니다. 이 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어는 반달 부분, 고온 저항, 산화성, 내마모성의 중요한 SIC 코팅 된 부분입니다. 우리는 중국의 공장을 방문하여 언제든지 상담하십시오.

더보기 >> 문의 보내기 >>

중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.