실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

View as

CVD SIC 샤워 헤드

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 CVD SIC 샤워 헤드 제조업체 및 혁신가이며 수년간 SIC 재료를 전문으로 해왔습니다. CVD SIC 샤워 헤드는 탁월한 열 화학적 안정성, 높은 기계적 강도 및 플라즈마 침식에 대한 내성으로 인해 포커싱 링 재료로 선정되었습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

sic 샤워 헤드

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 SIC 샤워 헤드 제조업체이자 혁신가이며, 수년간 SIC 재료를 전문으로 해왔습니다. SIC 샤워 헤드는 훌륭한 열 화학적 안정성, 높은 기계적 강도 및 혈장 침식에 대한 저항성으로 인해 포커싱 링 재료로 선정되었습니다. 우리는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

SIC 코팅 세트 디스크

Vetek 반도체는 중국에서 CVD SIC 코팅의 최고 제조업체이며 Aixtron MoCVD 반응기에서 SIC 코팅 세트 디스크를 제공합니다. 이들 SIC 코팅 세트 디스크는 고순도 흑연을 사용하여 제작되며 5ppm 미만의 불순물을 갖는 CVD SIC 코팅을 특징으로한다. 귀하의 문의는 환영합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

SIC 코팅 수집기 센터

Vetek Semiconductor는 중국의 CVD SIC 코팅에 대한 평판이 좋은 제조업체이며 Aixtron G5 MoCVD 시스템의 최첨단 SIC 코팅 수집기 센터를 제공합니다. 이 SIC 코팅 수집기 센터는 고순도 흑연으로 세 심하게 설계되었으며 고급 CVD SIC 코팅을 자랑하여 고온 안정성, 부식 저항, 고순도를 보장합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

SIC 코팅 수집기 상단

신뢰할 수있는 CVD SIC 코팅 제조업체 인 Vetek Semiconductor에 오신 것을 환영합니다. 우리는 고순도 흑연을 사용하여 전문적으로 설계하고 5ppm 미만의 불순물을 갖춘 최첨단 CVD SIC 코팅을 특징으로하는 Aixtron SIC 코팅 컬렉터 탑을 제공하는 데 자부심을 가지고 있습니다. 질문이나 문의 사항이 있으시면 주저하지 마십시오.

더보기 >> 문의 보내기 >>

SIC 코팅 수집기 바닥

CVD SIC 코팅 제조에 대한 전문 지식을 바탕으로 Vetek Semiconductor는 자랑스럽게 Aixtron Sic Coating Collector 바닥, 중앙 및 상단을 제공합니다. 이들 SIC 코팅 수집기 바닥은 고순도 흑연을 사용하여 구성되며 CVD SIC로 코팅되어 5ppm 미만의 불순물을 보장합니다. 자세한 정보와 문의를 위해 문의하십시오.

더보기 >> 문의 보내기 >>

중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.