실리콘 카바이드 코팅

Vetek 반도체의 CVD SIC 코팅 보호자는 LPE SIC 에피 택시이며, "LPE"라는 용어는 일반적으로 저압 화학 증기 증착 (LPCVD)에서 저압 에피 택시 (LPE)를 나타냅니다. 반도체 제조에서 LPE는 단결정 박막을 재배하는 데 중요한 공정 기술이며, 종종 실리콘 에피 택셜 층 또는 기타 반도체 에피 택셜 층을 재배하는 데 사용됩니다.

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅, 흑연의 TAC 코팅 및 실리콘 카바이드 물질을 제조하는 데 전문적입니다. 우리는 SIC 코팅 된 받침대, 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 척, 웨이퍼 캐리어 트레이, 행성 디스크 등과 같은 OEM 및 ODM 제품을 제공합니다. 곧 당신에게서.

Vetek Semiconductor는 고객과 긴밀히 협력하여 특정 요구 사항에 맞는 SiC 코팅 입구 링용 맞춤형 디자인을 제작하는 데 탁월합니다. 이러한 SiC 코팅 입구 링은 CVD SiC 장비 및 실리콘 카바이드 에피택시와 같은 다양한 응용 분야를 위해 세심하게 설계되었습니다. 맞춤형 SiC 코팅 주입구 링 솔루션의 경우 주저하지 말고 Vetek Semiconductor에 문의하여 맞춤형 지원을 받으십시오.

VeTek Semiconductor는 SiC 코팅 지지 링, CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅, 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 주로 생산하는 중국 전문 제조업체 및 공급업체입니다. 우리는 반도체 산업을 위한 완벽한 기술 지원과 최고의 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 저희에게 연락을 환영합니다.

웨이퍼 청크 반도체 프로세스에서 웨이퍼 클램핑 도구를 웨이퍼 클램핑 도구로 PVD, CVD, Etch 및 기타 프로세스에서 널리 사용됩니다. Vetek 반도체의 웨이퍼 척 플레이 반도체 생산에서 vivotal 역할을 통해 빠르고 고품질의 출력을 가능하게합니다. 사내 제조, 경쟁 가격 및 강력한 R & D 지원을 통해 Vetek Semiconductor는 정밀 구성 요소를 위해 OEM/ODM 서비스를 탁월합니다.

ALD 공정은 원자 층 에피 택시 프로세스를 의미합니다. Vetek 반도체 및 ALD 시스템 제조업체는 ALD 공정의 높은 요구 사항을 충족시키기 위해 SIC 코팅 된 ALD 행성 감수체를 개발하고 생산하여 기판에 공기 흐름을 골고루 분배했습니다. 동시에, 우리의 고순도 CVD SIC 코팅은 공정에서 순도를 보장합니다. 우리와 협력에 대해 토론하는 데 오신 것을 환영합니다.