Vetek 반도체의 CVD SIC 코팅 천장은 고온 저항, 부식성, 높은 경도 및 낮은 열 팽창 계수와 같은 우수한 특성을 가지고있어 반도체 제조에 이상적인 재료 선택이됩니다. Vetek Semiconductor는 중국을 선도하는 CVD SIC 코팅 천장 제조업체 및 공급 업체로서 귀하의 상담을 기대합니다.
Vetek Semiconductor는 중국의 MoCVD LED EPI 감수자의 전문 제조업체입니다. 우리의 MOCVD LED EPI 감수자는 까다로운 epitaxial 장비 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 높은 열전도율, 화학적 안정성 및 내구성은 안정적인 에피 택셜 성장 공정 및 반도체 필름 생산을 보장하는 핵심 요소입니다.
SIC 코팅 ALD 감수자는 원자 층 증착 (ALD) 공정에 특별히 사용되는지지 구성 요소이다. ALD 장비에서 핵심적인 역할을 수행하여 증착 공정의 균일 성과 정밀도를 보장합니다. 우리는 ALD Planetary 감수자 제품이 고품질 제품 솔루션을 가져올 수 있다고 생각합니다.
VeTek Semiconductor의 CVD SiC 코팅 RTP 서셉터는 반도체 제조 전반에 걸쳐 사용되는 급속 열 처리(RTP) 및 급속 열 어닐링(RTA) 장비에 사용됩니다. 기판은 고순도 등방성 흑연으로 가공되었으며 그 위에 조밀한 CVD 실리콘 카바이드(SiC) 층이 증착되었습니다. 이 구조는 반복되는 고온 사이클링에서 높은 열 전도성, 견고한 화학적 불활성 및 지속적인 치수 안정성을 제공합니다.