실리콘 카바이드 코팅

웨이퍼 청크 반도체 프로세스에서 웨이퍼 클램핑 도구를 웨이퍼 클램핑 도구로 PVD, CVD, Etch 및 기타 프로세스에서 널리 사용됩니다. Vetek 반도체의 웨이퍼 척 플레이 반도체 생산에서 vivotal 역할을 통해 빠르고 고품질의 출력을 가능하게합니다. 사내 제조, 경쟁 가격 및 강력한 R & D 지원을 통해 Vetek Semiconductor는 정밀 구성 요소를 위해 OEM/ODM 서비스를 탁월합니다.

ALD 공정은 원자 층 에피 택시 프로세스를 의미합니다. Vetek 반도체 및 ALD 시스템 제조업체는 ALD 공정의 높은 요구 사항을 충족시키기 위해 SIC 코팅 된 ALD 행성 감수체를 개발하고 생산하여 기판에 공기 흐름을 골고루 분배했습니다. 동시에, 우리의 고순도 CVD SIC 코팅은 공정에서 순도를 보장합니다. 우리와 협력에 대해 토론하는 데 오신 것을 환영합니다.

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅 및 CVD TAC 코팅의 연구 개발 및 산업화에 중점을 둡니다. SIC 코팅 감수체를 예를 들어,이 제품은 높은 정밀도, 조밀 한 CVD SIC 코팅, 고온 저항 및 강한 부식 저항으로 고도로 가공됩니다. 우리에 대한 귀하의 문의는 환영합니다.

SIC 결정 성장을위한 CVD SIC 블록은 Vetek 반도체가 개발 한 새로운 고순도 원료입니다. 입력 출력 비율이 높고 고품질의 대형 실리콘 탄화물 단결정을 성장시킬 수 있습니다.이 결정은 오늘날 시장에서 사용되는 분말을 대체하기위한 2 세대 재료입니다. 기술적 인 문제에 대해 논의하는 데 오신 것을 환영합니다.

화학 기상 증착 (CVD)에 의해 형성된 Vetek 반도체의 초고 순도 실리콘 카바이드 (SIC)는 물리적 증기 수송 (PVT)에 의해 실리콘 카바이드 결정을 재배하기위한 소스 재료로 사용하는 것이 좋습니다. SIC 결정 성장 신기술에서, 소스 재료는 도가니에로드되어 종자 결정에 승화된다. 고순도 CVD-SIC 블록을 사용하여 SIC 결정을 성장시키는 소스로 사용하십시오. 우리와 파트너십을 맺을 수 있습니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 CVD SIC 샤워 헤드 제조업체 및 혁신가이며 수년간 SIC 재료를 전문으로 해왔습니다. CVD SIC 샤워 헤드는 탁월한 열 화학적 안정성, 높은 기계적 강도 및 플라즈마 침식에 대한 내성으로 인해 포커싱 링 재료로 선정되었습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다.