실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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SIC 코팅 커버 세그먼트 내부

Vetek 반도체에서 우리는 CVD SIC 코팅 및 CVD TAC 코팅의 연구, 개발 및 산업화를 전문으로합니다. 하나의 모범적 인 제품은 SIC 코팅 커버 세그먼트 내부이며, 이는 매우 정확하고 밀도가 높은 CVD SIC 표면을 달성하기 위해 광범위한 가공을 거친다. 이 코팅은 고온에 대한 탁월한 저항을 보여주고 강력한 부식 보호를 제공합니다. 문의 사항은 언제든지 문의하십시오.

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SIC 코팅 커버 세그먼트

Vtech 반도체는 Aixtron 반응기를위한 CVD SIC 코팅 부품의 개발 및 상용화에 전념하고 있습니다. 예를 들어, 우리의 SIC 코팅 커버 세그먼트는 우수한 내식성, 화학적 안정성으로 조밀 한 CVD SIC 코팅을 생성하기 위해 신중하게 가공되었으며, 우리와 함께 응용 프로그램 시나리오에 대해 논의 할 수 있습니다.

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MOCVD 지원

MoCVD 감수자는 유성 디스크와 특성이 있으며, 에피 택시의 안정적인 성능을 위해 특성화됩니다. Vetek Semiconductor는이 제품의 가공 및 CVD SIC 코팅에 대한 풍부한 경험을 가지고 있으며 실제 사례에 대해 우리와 통신하는 것을 환영합니다.

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예열 링

예열 고리는 반도체 에피 택시 공정에서 웨이퍼를 예열하고 웨이퍼의 온도를보다 안정적이고 균일하게 만들기 위해 사용되며, 이는 에피 택시 층의 고품질 성장에 큰 의미가 있습니다. Vetek 반도체는이 제품의 순도를 엄격하게 제어하여 고온에서 불순물의 휘발을 방지합니다.

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웨이퍼 리프트 핀

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 Epi Wafer 리프트 핀 제조업체 및 혁신가이며, 수년간 흑연의 표면에서 SIC 코팅을 전문으로 해왔습니다. EPI 프로세스를위한 EPI WAFER 리프트 핀을 제공합니다. 고품질과 경쟁력있는 가격으로 중국의 공장을 방문하도록 환영합니다.

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SIC 코팅 배럴 감수기

에피택시는 반도체 장치 제조에서 기존 칩에 새로운 결정을 성장시켜 새로운 반도체 층을 만드는 데 사용되는 기술입니다. VeTek Semiconductor는 LPE 실리콘 에피택시 반응 챔버를 위한 포괄적인 부품 솔루션 세트를 제공하여 긴 수명, 안정적인 품질 및 향상된 에피택시를 제공합니다. 레이어 수율. SiC Coated Barrel Susceptor와 같은 당사 제품은 고객으로부터 위치 피드백을 받았습니다. 또한 Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy 등에 대한 기술 지원도 제공합니다. 가격 정보는 부담 없이 문의해 주세요.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.