실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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알드 행성 감수자

ALD 공정은 원자 층 에피 택시 프로세스를 의미합니다. Vetek 반도체 및 ALD 시스템 제조업체는 ALD 공정의 높은 요구 사항을 충족시키기 위해 SIC 코팅 된 ALD 행성 감수체를 개발하고 생산하여 기판에 공기 흐름을 골고루 분배했습니다. 동시에, 우리의 고순도 CVD SIC 코팅은 공정에서 순도를 보장합니다. 우리와 협력에 대해 토론하는 데 오신 것을 환영합니다.

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그래서지지를 코팅합니다

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅 및 CVD TAC 코팅의 연구 개발 및 산업화에 중점을 둡니다. SIC 코팅 감수체를 예를 들어,이 제품은 높은 정밀도, 조밀 한 CVD SIC 코팅, 고온 저항 및 강한 부식 저항으로 고도로 가공됩니다. 우리에 대한 귀하의 문의는 환영합니다.

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SIC 결정 성장을위한 CVD SIC 블록은 Vetek 반도체가 개발 한 새로운 고순도 원료입니다. 입력 출력 비율이 높고 고품질의 대형 실리콘 탄화물 단결정을 성장시킬 수 있습니다.이 결정은 오늘날 시장에서 사용되는 분말을 대체하기위한 2 세대 재료입니다. 기술적 인 문제에 대해 논의하는 데 오신 것을 환영합니다.

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SIC Crystal Growth 새로운 기술

화학 기상 증착 (CVD)에 의해 형성된 Vetek 반도체의 초고 순도 실리콘 카바이드 (SIC)는 물리적 증기 수송 (PVT)에 의해 실리콘 카바이드 결정을 재배하기위한 소스 재료로 사용하는 것이 좋습니다. SIC 결정 성장 신기술에서, 소스 재료는 도가니에로드되어 종자 결정에 승화된다. 고순도 CVD-SIC 블록을 사용하여 SIC 결정을 성장시키는 소스로 사용하십시오. 우리와 파트너십을 맺을 수 있습니다.

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CVD SIC 샤워 헤드

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 CVD SIC 샤워 헤드 제조업체 및 혁신가이며 수년간 SIC 재료를 전문으로 해왔습니다. CVD SIC 샤워 헤드는 탁월한 열 화학적 안정성, 높은 기계적 강도 및 플라즈마 침식에 대한 내성으로 인해 포커싱 링 재료로 선정되었습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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sic 샤워 헤드

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 SIC 샤워 헤드 제조업체이자 혁신가이며, 수년간 SIC 재료를 전문으로 해왔습니다. SIC 샤워 헤드는 훌륭한 열 화학적 안정성, 높은 기계적 강도 및 혈장 침식에 대한 저항성으로 인해 포커싱 링 재료로 선정되었습니다. 우리는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.