실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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CVD SIC 코팅 배플

Vetek의 CVD SIC 코팅 배플은 주로 Si epitaxy에 사용됩니다. 일반적으로 실리콘 확장 배럴과 함께 사용됩니다. CVD SIC 코팅 배플의 고유 한 고온과 안정성을 결합하여 반도체 제조에서 공기 흐름의 균일 한 분포를 크게 향상시킵니다. 우리는 우리의 제품이 고급 기술과 고품질 제품 솔루션을 제공 할 수 있다고 생각합니다.

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CVD SIC 흑연 실린더

Vetek 반도체의 CVD SIC 흑연 실린더는 반도체 장비에 중추적이며, 고온 및 압력 설정으로 내부 부품을 보호하기 위해 원자로 내의 보호 방패 역할을합니다. 장비 무결성을 보존하여 화학 물질과 극한 열에 효과적으로 보호됩니다. 탁월한 마모와 부식 저항으로 도전적인 환경에서 수명과 안정성을 보장합니다. 이 커버를 사용하면 반도체 장치 성능을 향상시키고 수명을 연장하며 유지 보수 요구 사항과 손상 위험을 완화합니다.

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CVD SIC 코팅 노즐

CVD SiC 코팅 노즐은 반도체 제조 중 탄화규소 재료를 증착하기 위한 LPE SiC 에피택시 공정에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 노즐은 일반적으로 열악한 처리 환경에서도 안정성을 보장하기 위해 고온 및 화학적으로 안정적인 탄화규소 소재로 만들어집니다. 균일한 증착을 위해 설계된 이 제품은 반도체 응용 분야에서 성장하는 에피택셜 층의 품질과 균일성을 제어하는 데 중요한 역할을 합니다. 추가 문의를 환영합니다.

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CVD SIC 코팅 보호기

Vetek 반도체의 CVD SIC 코팅 보호자는 LPE SIC 에피 택시이며, "LPE"라는 용어는 일반적으로 저압 화학 증기 증착 (LPCVD)에서 저압 에피 택시 (LPE)를 나타냅니다. 반도체 제조에서 LPE는 단결정 박막을 재배하는 데 중요한 공정 기술이며, 종종 실리콘 에피 택셜 층 또는 기타 반도체 에피 택셜 층을 재배하는 데 사용됩니다.

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SIC 코팅 된 받침대

Vetek 반도체는 CVD SIC 코팅, 흑연의 TAC 코팅 및 실리콘 카바이드 물질을 제조하는 데 전문적입니다. 우리는 SIC 코팅 된 받침대, 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 척, 웨이퍼 캐리어 트레이, 행성 디스크 등과 같은 OEM 및 ODM 제품을 제공합니다. 곧 당신에게서.

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SiC 코팅 입구 링

Vetek Semiconductor는 고객과 긴밀히 협력하여 특정 요구 사항에 맞는 SiC 코팅 입구 링용 맞춤형 디자인을 제작하는 데 탁월합니다. 이러한 SiC 코팅 입구 링은 CVD SiC 장비 및 실리콘 카바이드 에피택시와 같은 다양한 응용 분야를 위해 세심하게 설계되었습니다. 맞춤형 SiC 코팅 주입구 링 솔루션의 경우 주저하지 말고 Vetek Semiconductor에 문의하여 맞춤형 지원을 받으십시오.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.