따라서 코팅 EPI 수신기

Vetek Semiconductor는 EPI를 코팅하는 중국의 전문 제조업체입니다.

Vetek 반도체의 SIC 코팅 EPI 감수자는 흑연과 실리콘 탄화물로 만들어졌습니다. 이 SIC 코팅 제품은 수입 흑연을 사용하여 더 안정적인 성능과 서비스 수명이 길며 유럽 및 미국 고객에게 칭찬을받습니다. 동시에, SIC 코팅 EPI 감수자의 농도는 5ppm 미만이며 균일 성은 매우 좋습니다. 지속적인 기술 업그레이드 후, Vetek Semiconductor는 새로운 프로세스를 사용하여 SIC 코팅의 열 확장 계수와 흑연 재료간에 잘 일치합니다.

SIC 코팅 EPI 감수자는 반도체 장비의 고온 및 부식성 환경에서 특별히 사용됩니다. SIC 코팅 EPI 감수자는 Aixtron과 같은 장비, 특히 심층 자외선 (DUV 에피 택시) 공정에서 일반적으로 사용되며 중요한 역할을합니다.

심자외선 에피택시(DUV Epitaxy) 공정에서 SiC 코팅 에피서셉터의 뛰어난 내열성과 내식성이 결합된 SiC 코팅 에피서셉터는 일반적으로 에피택시 공정 중 AIXTRON 장비의 반응 챔버 주변에 캐리어로 설치됩니다. 장비를 손상시키거나 오염시키는 행위.

이 SiC 코팅 Epi 서셉터는 심자외선 에피택시를 위해 설계되었습니다. 우리는 탄화규소 코팅을 엄격하게 제어하고, 완충층 기술을 통합하여 흑연과 탄화규소 코팅 간의 열팽창 계수 차이로 인해 발생하는 문제를 줄여 제품의 수명을 연장합니다. 현재 당사의 제품은 수많은 찬사를 받았으며 국내 시장에서 최고의 제품 중 하나로 인정받고 있습니다.

VeTek Semiconductor는 SiC 코팅 제품 분야의 업계 선두주자로서 제품 맞춤 서비스와 만족스러운 제품 가격을 지원하며, 귀하의 추가 상담을 기대합니다.

CVD SIC 필름의 SEM 데이터 :

VeTek Semiconductor SiC 코팅 스커트 제품 매장:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :