ASM용 SiC 코팅 흑연 서셉터

일반 제품 정보

제품 비즈니스 용어

✔ 신청: Veteksemicon SiC 코팅 흑연 기판은 ASM 시리즈 에피택셜 장비의 핵심 소모품입니다. 웨이퍼를 직접 지지하고 고온 에피택시 시 균일하고 안정적인 열장을 제공하여 GaN, SiC 등 첨단 반도체 소재의 고품질 성장을 보장하는 핵심 부품입니다.

✔ 제공 가능한 서비스: 고객 응용 시나리오 분석, 자료 매칭, 기술 문제 해결. 

✔ 회사 소개：Veteksemicon에는 20년의 재료 경험과 R&D, 생산, 테스트 및 검증 능력을 갖춘 전문가 팀인 2개의 실험실이 있습니다.

기술적인 매개변수

ASM 핵심 장점을 위한 Veteksemicon SiC 코팅 흑연 서셉터

1. 순도가 매우 높고 불량률이 낮습니다.

고순도 미립자급 특수 흑연 기판을 엄격하게 제어되는 화학 기상 증착(CVD) 코팅 공정과 결합하여 코팅이 조밀하고 핀홀이 없으며 불순물이 없음을 보장합니다. 이는 에피택셜 공정 중 미립자 오염 위험을 크게 줄여 고품질 에피택셜 층 성장을 위한 깨끗한 기판 환경을 제공합니다.

2. 내식성, 내마모성이 우수합니다.

열분해 탄화규소 코팅은 극도로 높은 경도와 화학적 불활성을 갖고 있어 고온에서 실리콘 소스(예: SiH4, SiHCl3), 탄소 소스(예: C3H8) 및 에칭 가스(예: HCl, H2)의 침식을 효과적으로 방지합니다. 이는 베이스의 유지 관리 주기를 크게 연장하고 구성 요소 교체로 인한 기계 가동 중지 시간을 줄여줍니다.

3. 우수한 열 균일성과 안정성

정밀한 기판 구조 설계 및 코팅 두께 제어를 통해 작동 온도 범위 내에서 열장 분포를 최적화했습니다. 이는 에피택셜 웨이퍼의 탁월한 두께와 저항률 균일성으로 직접적으로 해석되어 칩 제조 수율 향상에 기여합니다.

4. 우수한 코팅 접착력

독특한 표면 전처리 및 구배 코팅 기술을 통해 탄화규소 코팅이 흑연 기재와 강력한 결합층을 형성할 수 있어 장기간 열 순환 중에 발생할 수 있는 코팅 박리, 벗겨짐 또는 균열 문제를 효과적으로 방지할 수 있습니다.

5. 정확한 크기와 구조적 복제

우리는 성숙한 CNC 가공 및 테스트 기능을 보유하고 있어 원래 베이스의 복잡한 형상, 캐비티 치수 및 장착 인터페이스를 완전히 복제할 수 있어 고객 플랫폼과의 완벽한 일치 및 플러그 앤 플레이 기능을 보장합니다.

6. 생태사슬 검증 승인

ASM의 생태학적 사슬 검증을 위한 Veteksemicon SiC 코팅 흑연 서셉터는 원자재부터 생산까지 포괄하며, 국제 표준 인증을 통과했으며, 반도체 및 신에너지 분야에서 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위한 다수의 특허 기술을 보유하고 있습니다.

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비에 대해서는 기술 지원팀에 문의하여 Veteksemicon이 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있는 방법을 알아보세요.

주요 응용 분야

베텍세미콘 제품 매장