CVD SIC 코팅 에피 택시 감수기

Veteksemicon의 CVD SIC 코팅 에피 택시 감수자는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 정밀 엔지니어링 도구입니다. 이 SIC 코팅 에피 택시 감수자는 박막, 에피 층 및 기타 코팅의 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을하며 온도 및 재료 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

기초적인CVD SIC 코팅의 물리적 특성 :

CVD SIC 코팅 에피 택시 감수자 제품 장점 :

● 정확한 증착: 감수자는 고도로 전도성 전도성 흑연 기판을 SIC 코팅과 결합하여 기판 (예 : 사파이어, SIC 또는 간)을위한 안정적인지지 플랫폼을 제공합니다. 높은 열전도율 (SIC와 같은 약 120 w/m · k)은 열을 빠르게 전달하고 기판 표면의 균일 한 온도 분포를 보장하여 에피 택셜 층의 고품질 성장을 촉진 할 수 있습니다.

● 오염 감소: CVD 공정에 의해 제조 된 SIC 코팅은 매우 높은 순도 (불순물 함량 <5 ppm)를 가지며, 부식성 가스 (예 : CL₂, NH주)에 대해 매우 저항력이 있으며, 에피 택셜 층의 오염을 피합니다.

● 내구성: SIC의 높은 경도 (MOHS 경도 9.5)와 내마모성은 반복적 인 사용 중베이스의 기계적 손실을 감소시키고 고주파 반도체 생산 공정에 적합합니다.

Veteksemicon은 고품질 제품과 경쟁력있는 가격을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 고대하고 있습니다.

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