탄탈 룸 탄화물 기술 혁신, SIC 에피 택셜 오염은 75%감소 했습니까?

최근 독일 연구소 인 Fraunhofer IISB는탄탈 룸 카바이드 코팅 기술및 CVD 증착 솔루션보다 유연하고 환경 친화적 인 스프레이 코팅 솔루션을 개발했으며 상용화되었습니다.

그리고 국내 Vetek 반도체는이 분야에서 획기적인 정보를 얻었습니다. 자세한 내용은 아래를 참조하십시오.

Fraunhofer iisb :

새로운 TAC 코팅 기술 개발

3 월 5 일, 언론에 따르면 "복합 반도체"Fraunhofer IISB는 새로운 것을 개발했습니다탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅 기술-taccotta. 이 기술 라이센스는 NKCG (Nippon Kornmeyer Carbon Group)로 이전되었으며 NKCG는 고객에게 TAC 코팅 된 흑연 부품을 제공하기 시작했습니다.

산업에서 TAC 코팅을 생산하는 전통적인 방법은 화학 증기 증착 (CVD)이며, 높은 제조 비용 및 오랜 배송 시간과 같은 단점에 직면합니다. 또한, CVD 방법은 또한 구성 요소의 반복 가열 및 냉각 동안 TAC의 균열이 발생하기 쉽다. 이 균열은 기본 흑연을 노출시켜 시간이 지남에 따라 심하게 ​​저하되며 교체해야합니다.

Taccotta의 혁신은 수성 스프레이 코팅 방법과 온도 처리를 사용하여 높은 기계적 안정성 및 조절 가능한 두께로 TAC 코팅을 형성한다는 것입니다.흑연 기질. 코팅의 두께는 다른 응용 요구 사항에 맞게 20 미크론에서 200 미크론에서 200 미크론에서 조정할 수 있습니다.

Fraunhofer IISB가 개발 한 TAC 프로세스 기술은 아래 그림과 같이 두께와 같은 필요한 코팅 특성을 35μm ~ 110 μm 범위에서 조정할 수 있습니다.

특히 Taccotta 스프레이 코팅도 다음과 같은 주요 기능과 장점이 있습니다.

●보다 환경 친화적 인 : 수성 스프레이 코팅을 사용하면이 방법은보다 환경 친화적이고 산업화하기 쉽습니다.

● 유연성 : Taccotta 기술은 다양한 크기와 형상의 구성 요소에 적응할 수있어 CVD에서는 불가능한 부분 코팅 및 구성 요소 개조가 가능합니다.

● 탄탈 오염 감소 : Taccotta 코팅이있는 흑연 구성 요소는 Sic epitaxial 제조에 사용되며, 기존에 비해 Tantalum 오염이 75% 감소합니다.CVD 코팅.

● 내마모성 : 스크래치 테스트에 따르면 코팅 두께를 증가시키는 것은 내마모성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

스크래치 테스트

이 기술은 고성능 흑연 재료 및 관련 제품을 제공하는 데 중점을 둔 합작 투자 인 NKCG에 의해 상업화를 위해 홍보 된 것으로보고되었습니다. NKCG는 또한 앞으로 오랫동안 Taccotta 기술 개발에 참여할 것입니다. 이 회사는 Taccotta 기술을 기반으로 흑연 구성 요소를 고객에게 제공하기 시작했습니다.

Vetek 반도체는 TAC의 국소화를 촉진합니다

2023 년 초, Vetek 반도체는 새로운 세대의SIC 결정 성장열 필드 재료-다공성 탄탈 룸 카바이드.

보고서에 따르면, Vetek Semiconductor는다공성 탄탈 룸 카바이드독립적 인 기술 연구 및 개발을 통해 큰 다공성. 다공성은 최대 75%에 도달하여 국제 리더십을 달성 할 수 있습니다.