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LED EPI
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LED EPI

Vetek 반도체는 TAC 코팅 및 SIC 코팅 흑연 부품의 주요 공급 업체입니다. 우리는 LED 에피 택시 프로세스에 필수적인 최첨단 LED EPI 감수기 생산을 전문으로합니다. 추가 상담을 기대합니다.

전문 LED EPI 감수자 공급 업체 및 제조업체 인 Vetek Semiconductor는 고품질 LED EPI 감수자를 제공하고자합니다.


Veteksemicon의 LED EPI 감수자 인 LED 에피 택시 성장 공정을 위해 설계된 최첨단 제품입니다. 이 고품질 감수자는 LED 에피 택시의 웨이퍼 캐리어 역할을하며, 필수 지원을 제공하고 LED 에피 택셜 웨이퍼의 성장을 유지합니다.


LED EPI 감수자는 높은 열전도율과 고온 저항성이 우수합니다. 일반적으로 감수자는 고온 환경 (1000 ° C 이상)에서 작업해야하며, 그 재료는 흑연 또는 실리콘 카바이드로 만들어집니다. 이들 물질은 높은 융점 (예 : 약 3650 ℃의 흑연 융점)과 우수한 열 전도성 (예 : 약 120 w/m · k의 실리콘 탄화물 열 전도도)을 가지며, 이는 효율적인 열 전달을 보장한다.


또한, Veteksemicon 감수자의 표면은 매우 평평하여 기질과의 밀접한 접촉을 보장합니다. 동시에석묵또는실리콘 카바이드 재료또한 반응성 가스 (NH₃, TMGA 등)와의 반응을 피하고 에피 택셜 층의 오염을 방지하는 상당한 화학적 불활성이 있습니다.


LED EPI 감수자는 우수한 열전도율을 통합하여 열 전도도를 효율적으로 소산하여 에피 택셜 웨이퍼의 안정적인 성장 온도를 유지합니다. 이 중요한 기능은 프로세스 안정성과 일관성을 향상시켜 일관되고 고품질의 LED 성장을 보장합니다. 성능을 더욱 향상시키기 위해 LED EPI 감수기는 프리미엄 탄탈 룸 (TAC) 박막으로 코팅됩니다. 그만큼TAC 코팅제품의 내구성과 신뢰성을 크게 향상시켜 오래 지속되고 최적의 성능을 보장합니다.


Veteksemicon의 LED EPI 감수자는 다양한 LED 에피 택시 장비 및 프로세스와의 원활한 호환성을 자랑하여 다양한 에피 택셜 웨이퍼 성장 요구 사항에 대한 다양한 솔루션입니다. 동시에 Veteksemicon은 반도체 에피 택셜 처리 기술을위한 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 당신이 우리와 함께하기를 진심으로 기대합니다.


TAC 코팅의 기본 물리적 특성 :

탄탈 룸 탄화물 코팅의 물리적 특성
밀도 14.3 (g/cm³)
특정 방사율 0.3
열 팽창 계수 6.3*10-6/케이
경도 (HK) 2000 hk
저항 1 × 10-5옴*cm
열 안정성 <2500 ℃
흑연 크기 변화 -10 ~ -20UM
두께 ≥20UM 일반 값 (35um ± 10um)


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반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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