LED 에칭용 실리콘 카바이드 캐리어 플레이트

일반 제품 정보

제품 비즈니스 용어

애플리케이션: Veteksemicon LED 에칭용 실리콘 카바이드 캐리어 플레이트는 LED 에칭 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 뛰어난 내식성과 안정성으로 고객이 수율을 크게 향상시키고 전체 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.

제공할 수 있는 서비스: 고객 응용 시나리오 분석, 자료 매칭, 기술 문제 해결.

회사 프로필: Veteksemicon은 20년의 재료 경험과 R&D 및 생산, 테스트 및 검증 능력을 갖춘 전문가 팀인 2개의 실험실을 보유하고 있습니다.

나의 라이벌 LED 에칭용 실리콘 카바이드 캐리어 플레이트 핵심 장점

1. 우수한 내화학성

LED 칩의 습식 또는 건식 에칭 중에 캐리어는 불산, 질산, 인산과 같은 부식성이 강한 화학 물질에 지속적으로 노출됩니다. 전통적인 석영 재료는 점차적으로 침식되어 표면 거칠기와 입자 오염을 초래합니다. Veteksemicon 탄화규소 캐리어는 고유한 화학적 불활성을 갖고 있어 다양한 산과 염기의 공격에 효과적으로 저항하여 수백 번의 엄격한 처리 주기 후에도 표면 무결성과 매끄러운 마감을 유지합니다. 이는 서비스 수명을 크게 연장하고 프로세스 챔버의 청결을 유지합니다.

2. 우수한 고온 안정성과 치수 정확도

반도체 처리에는 빈번한 열 순환이 포함되므로 재료의 열팽창 계수(CTE)가 중요합니다. 당사의 탄화규소 서셉터는 CTE가 매우 낮아 실리콘 웨이퍼와 완벽하게 일치합니다. 이 제품은 열 응력에 효과적으로 저항하여 뒤틀림이나 변형을 방지하는 동시에 수백 도의 지속적인 작동 온도에서 탁월한 치수 안정성을 유지합니다. 이는 웨이퍼와 서셉터 사이의 균일한 접촉을 보장하여 뛰어난 에칭 공정 균일성과 높은 배치 간 일관성을 보장합니다.

3. 고순도 및 초저공해

LED 에피택셜 웨이퍼는 금속 불순물에 매우 민감합니다. 약간의 오염이라도 칩 발광 효율과 수율 손실을 감소시킬 수 있습니다. Veteksemicon은 초고순도 원료, 고급 소결 공정을 활용하고 생산 환경을 엄격하게 제어하여 제품의 금속 이온 불순물을 최소화합니다. 이러한 소스의 순도에 대한 타협하지 않는 추구는 민감한 광전자 장치에 대한 가장 안정적인 보호를 제공하여 제품 수율 및 성능 향상에 직접적으로 기여합니다.

4. 우수한 기계적 성질과 긴 수명

탄화규소는 뛰어난 경도와 내마모성을 갖고 있습니다. 흑연 구성 요소에 비해 먼지와 입자 손실에 덜 민감하며, 석영 구성 요소에 비해 작동 중 더 큰 기계적 응력과 우발적인 충격을 견딜 수 있습니다. 이러한 강력한 물리적 특성을 통해 Veteksemicon 운송 업체는 매일 빈번한 취급, 청소 및 운송을 견딜 수 있으며, 계획되지 않은 가동 중지 시간과 파손으로 인한 예비 부품 비용을 크게 줄여 서비스 수명을 연장하고 고객의 전체 소유 비용을 낮출 수 있습니다.

5. 생태사슬 검증 승인

나의 라이벌 LED Etching용 실리콘 카바이드 캐리어 플레이트'의 생태학적 체인 검증은 원자재부터 생산까지 포괄하며, 국제 표준 인증을 통과했으며, 반도체 및 신에너지 분야에서 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위한 다수의 특허 기술을 보유하고 있습니다.

일반적인 애플리케이션 시나리오

     ● MOCVD로 성장한 GaN 기반 LED 에피택셜 웨이퍼의 식각 공정

     ● LED 칩 제조에 사용되는 건식 식각(ICP, RIE) 캐리어 플레이트

     ● LED 칩 제조에 사용되는 습식 화학 에칭 캐리어 플레이트

     ● 기타 반도체 재료를 부식성이 높고 온도가 높은 환경에서 가공해야 하는 경우

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비에 대해서는 기술 지원팀에 문의하여 Veteksemicon이 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있는 방법을 알아보세요.

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