EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터

✔ 오염 감소: SiC의 불활성 특성으로 인해 서셉터 표면에 불순물이 부착되는 것을 방지하여 증착막의 오염 위험을 줄여줍니다.

✔ 침식 저항성 증가: SIC는 기존의 흑연보다 침식에 대한 저항력이 훨씬 높기 때문에 감수자에 대한 수명이 길다.

✔ 열 안정성 향상: SiC는 열전도율이 우수하여 큰 변형 없이 고온을 견딜 수 있습니다.

✔ 향상된 필름 품질: 열 안정성이 향상되고 오염이 감소하여 균일성과 두께 제어가 향상된 고품질 증착 필름을 얻을 수 있습니다.

✔ GaN 기반 LED

✔ 전력 전자 장치

✔ 광전자 장치

✔ 고주파 트랜지스터

✔ 센서

SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터의 제품 매개변수

        참고 : 코팅 전에 코팅 후 첫 번째 정제를 수행하면 두 번째 정제가됩니다.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성