LPE PE2061에 대한 SIC 코팅 배럴 감수자

Vetek Semiconductor는 전문 중국 SIC 코팅 배럴 감수자입니다.LPE PE2061S제조업체 및 공급 업체.

LPE PE2061S용 VeTeK Semiconductor SiC 코팅 배럴 서셉터는 고도로 정제된 등방성 흑연 표면에 미세한 탄화규소 층을 적용하여 만든 고성능 제품입니다. 이는 VeTeK Semiconductor의 독점 기술을 통해 달성됩니다.화학 기상 증착(CVD)프로세스.

LPE PE2061S에 대한 우리의 SIC 코팅 배럴 감수자는 일종의 CVD 에피 택셜 증착 배럴 반응기는 극단적 인 환경에서 신뢰할 수있는 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 코팅 접착력, 고온 산화 저항 및 부식 저항은 가혹한 조건에서 사용하기에 탁월한 선택입니다. 또한, 균일 한 열 프로파일 및 층류 가스 흐름 패턴은 오염을 방지하여 고품질 에피 택셜 성장을 보장합니다.

우리의 반도체의 배럴 형 디자인에피택셜 반응기층류 가스 흐름 패턴을 최적화하여 균일 한 열 분포를 보장합니다. 이것은 불순물의 오염 또는 확산을 방지하는 데 도움이됩니다.웨이퍼 기판에서 고품질 에피 택셜 성장을 보장합니다.

우리는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 CVD SiC 코팅 배럴 서셉터는 두 가지 모두에 대해 우수한 밀도를 유지하면서 가격 경쟁력의 이점을 제공합니다.흑연 기판그리고탄화규소 코팅, 고온 및 부식성 작업 환경에서 안정적인 보호 기능을 제공합니다.

CVD SIC 필름 결정 구조의 SEM 데이터 :

단결정 성장을 위한 SiC 코팅 배럴 서셉터는 매우 높은 표면 평활성을 나타냅니다.

흑연 기판과 기판 사이의 열팽창 계수 차이를 최소화합니다.

실리콘 카바이드 코팅, 결합 강도를 효과적으로 개선하고 균열 및 박리 방지.

흑연 기판과 탄화규소 코팅은 모두 높은 열 전도성과 우수한 열 분포 기능을 갖추고 있습니다.

그것은 높은 용융점, 고온을 가지고 있습니다산화 저항, 그리고내식성.