웨이퍼 캐리어용 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터

1. 제품의 장점

• 고순도 재료:반도체급 흑연 소재와 치밀한 SiC 코팅 구조는 오염 위험을 최소화하고 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터의 신뢰성을 향상시킵니다.
• 탁월한 열 균일성:최적화된 흑연 구조와 SiC 코팅으로 안정적인 열 전달과 균일한 웨이퍼 온도 제어를 제공합니다.
• 우수한 내화학성:조밀한 SiC 코팅은 공정 가스 및 부식성 환경에 대한 강력한 저항성을 제공합니다.
• 긴 서비스 수명:높은 경도와 내마모성은 고온 에피택시 조건에서 내구성을 향상시킵니다.
• 낮은 입자 발생:조밀한 CVD SiC 표면은 입자 방출을 줄이고 웨이퍼 공정 신뢰성을 향상시킵니다.
• 맞춤형 설계 기능:장비 요구 사항에 따라 다양한 크기, 구조 및 구성이 가능합니다.

2. 기술 사양

3. 응용

• SiC 에피택시 공정:흑연 서셉터는 SiC 에피택시 장비의 웨이퍼 캐리어로 사용되어 고온 에피택셜 성장 중에 SiC 기판을 지지합니다.
• 실리콘 에피택시 공정:웨이퍼를 지지하고 안정적인 열 조건을 유지하기 위해 실리콘 에피택셜 반응기에 적용됩니다.
• MOCVD 에피택시:VETEK 흑연 서셉터는 뛰어난 열 균일성과 화학적 안정성이 요구되는 MOCVD, LED 에피택시, GaN 에피택시, 실리콘 에피택시 및 기타 반도체 제조 공정에 적합합니다.
• 반도체 제조 장비:LPE 수평로, Aixtron, NuFlare 및 관련 반도체 장비를 포함한 다양한 에피택시 플랫폼과 호환됩니다.

4. VETEK을 선택하는 이유는 무엇입니까?

VETEK은 흑연 정제, 정밀 가공, CVD 코팅 및 검사 기능을 통합한 맞춤형 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터 솔루션을 제공합니다. 당사의 반도체 등급 흑연 서셉터 제품은 까다로운 웨이퍼 캐리어 응용 분야를 위한 고순도, 균일한 코팅 두께, 우수한 열 성능 및 긴 서비스 수명을 특징으로 합니다.