수직로 SiC 코팅 링

수직 용광로에서 SIC 코팅 링의 사용은 주로 고온 열 처리 공정에 주로 사용되는 일반적인 솔루션입니다.반도체 웨이퍼. 수직로 SiC 코팅 링은 공정의 안정성과 신뢰성을 보장하기 위해 웨이퍼를 지지하거나 보호하는 데 사용되는 고성능, 내열성 구성 요소입니다.

수직로 SiC 코팅 링의 기능

● 기능

조연 역할. 고온로에서 웨이퍼의 안정성과 정확한 위치를 보장하기 위해 웨이퍼를 지지하는 데 사용됩니다.

●  부식 보호

부식성 가스 또는 화학 물질이 기본 재료를 부식시키는 것을 방지하십시오.

●  오염을 줄입니다

고순도 SIC 코팅은 입자 흘림 및 불순물 오염을 효과적으로 방지하여 공정 청결을 보장 할 수 있습니다.

●  고온 저항

고온 환경(보통 1000°C 이상)에서도 우수한 기계적 특성과 치수 안정성을 유지합니다.

수직로 SiC 코팅 링의 특징

●  높은 경도와 강도

SIC 재료는 기계적 강도가 우수하며 용광로에서 고온 응력을 견딜 수 있습니다.

●  좋은 열 안정성

SiC의 높은 열 전도성과 낮은 열팽창 계수는 열 응력을 줄이는 데 도움이 됩니다.

●  강한 화학적 안정성

SiC 코팅은 산화성, 산성 또는 알칼리성 환경에서 부식에 저항할 수 있습니다.

●  낮은 입자 오염

표면이 매끄러워 파티클 발생 가능성이 낮아 특히 반도체 제조의 초청정 환경에 적합합니다.

실리콘 웨이퍼를지지하고 열처리 중에 입자 오염을 방지하기 위해 수직 용광로에서 확산, 산화, 어닐링 및 기타 공정에 사용됩니다.

제조 재료 및 공정

●  기판: 고품질 SGL 흑연으로 제작되어 품질이 보장됩니다.

●  코팅: 화학 기상 증착(CVD)을 통해 흑연 표면에 실리콘 카바이드 코팅을 적용합니다.

●  코팅 두께는 일반적으로 50~500μm이며 사용 요구 사항에 따라 조정됩니다.

● 화학 기상 증착 SIC 코팅은 순도와 밀도가 높으며 내구성이 향상됩니다.

적절한 것을 선택하십시오SiC 코팅용광로에서 실리콘 웨이퍼의 직경과 캐리어 사양에 따라 고리. 우리는 당신을 위해 그것을 사용자 정의 할 수 있습니다. 고순도, 고밀도 코팅은 더 내구성이 뛰어나고 오염이 적습니다. 코팅 노화로 인한 오염 또는지지 고장을 피하기위한 사용 빈도 및 공정 요구 사항에 따라 정기적으로 교체하십시오.

VeTek Semiconductor는 중국의 전문 수직 전기로 SiC 코팅 링 공급업체 및 제조업체로서 오랫동안 반도체 산업을 위한 첨단 수직 전기로 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 진심으로 기대합니다.

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성

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