매우 순수한 흑연 하부 반달

Vetek Semiconductor는 매우 순수한 흑연 하반부를 제공하기위한 전문 제조업체입니다. 우리의 제품 초대형 흑연 하부 반문은 SIC 에피 택셜 챔버를 위해 특별히 설계되었으며 다양한 장비 모델과 우수한 성능과 호환성을 제공합니다.

특징:

연결 : Vetek Semiconductor Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon은 석영 튜브와 연결되도록 설계되어 가스 흐름을 용이하게하여 캐리어베이스의 회전을 유도합니다.

온도 제어 : 제품을 사용하면 온도 제어가 가능하여 반응 챔버 내에서 최적의 조건을 보장합니다.

비접촉 설계 : 반응 챔버 내부에 설치된 Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon은 웨이퍼에 직접 접촉하지 않아 프로세스의 무결성을 보장합니다.

응용 프로그램 시나리오 :

우리의 Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon은 Sic epitaxial 챔버에서 중요한 구성 요소 역할을하며, 이는 불순물 함량을 5 ppm 미만으로 유지하는 데 도움이됩니다. 두께 및 도핑 농도 균일 성과 같은 매개 변수를 면밀히 모니터링함으로써 최고 품질의 에피 택셜 층을 보장합니다.

호환성:

Vetek Semiconductor의 Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon은 LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech 등을 포함한 다양한 장비 모델과 호환됩니다.

우리는 당신이 중국의 공장을 방문하여 고품질 초대형 흑연 하부 하프 문을 직접 탐색하도록 초대합니다.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

반도체 생산 상점 비교 ：

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :