실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어

전문 제조업체로서, 우리는 당신에게 고품질의 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어를 제공하고자합니다. Vetek 반도체 실리콘 카바이드 에피 택시 웨이퍼 캐리어는 SIC 에피 택셜 챔버를 위해 특별히 설계되었습니다. 그들은 광범위한 응용 프로그램을 가지고 있으며 다양한 장비 모델과 호환됩니다.

응용 프로그램 시나리오 :

소유하다K 반도체 실리콘 탄화물 에피 택시 웨이퍼 캐리어는 주로 SIC 에피 택셜 층의 성장 공정에 사용된다. 이 액세서리는 SIC 에피 택시 반응기 내부에 배치되어 SIC 기판과 직접 접촉합니다. 에피 택셜 층의 임계 매개 변수는 두께 및 도핑 농도 균일 성입니다. 따라서 필름 두께, 캐리어 농도, 균일 성 및 표면 거칠기와 같은 데이터를 관찰하여 액세서리의 성능과 호환성을 평가합니다.

용법:

장비와 공정에 따라, 당사의 제품은 6 인치 반 달 구성에서 5000 um 이상의 에피 택셜 층 두께를 달성 할 수 있습니다. 이 값은 참조로 사용되며 실제 결과는 다를 수 있습니다.

호환 장비 모델 :

Vetek 반도체 실리콘 카바이드 코팅 흑연 부품은 LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech 등을 포함한 다양한 장비 모델과 호환됩니다.

기본 물리적 특성CVD SIC 코팅:

반도체 생산 상점 비교 ：

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :