상단 반달 부분 SIC 코팅

Vetek Semiconductor는 20 년 이상 고급 재료를 전문으로하는 중국에서 맞춤형 상단 하프문 파트 SIC 코팅의 선도적 인 공급 업체입니다. Vetek 반도체 상단 반달 부분 SIC 코팅은 SIC 에피 택셜 장비를 위해 특별히 설계되었으며, 반응 챔버에서 중요한 성분으로 사용됩니다. 초고, 반도체 등급 흑연으로 제작 된이 제품은 탁월한 성능을 보장합니다. 우리는 당신이 중국의 공장을 방문하도록 초대합니다. 언제든지 상담하십시오.

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제품 설명

전문 제조업체로서, 우리는 당신에게 고품질의 상단 반달 부분 SIC 코팅을 제공하고자합니다.

Vetek 반도체 상단 반달 부분 SIC 코팅은 SIC 에피 택셜 챔버를 위해 특별히 설계되었습니다. 그들은 광범위한 응용 프로그램을 가지고 있으며 다양한 장비 모델과 호환됩니다.

응용 프로그램 시나리오 :

Vetek Semiconductor에서는 고품질 상단 하프문 파트 SIC 코팅 제조를 전문으로합니다. 당사의 SIC 및 TAC 코팅 제품은 SIC 에피 택셜 챔버를 위해 특별히 설계되었으며 다양한 장비 모델과 광범위한 호환성을 제공합니다.

Vetek 반도체 상단 반달 부분 SIC 코팅은 SIC 에피 택셜 챔버에서 구성 요소 역할을합니다. 그들은 제어 된 온도 조건과 웨이퍼와의 간접 접촉을 보장하여 불순물 함량을 5 ppm 미만으로 유지합니다.

최적의 에피 택셜 층 품질을 보장하기 위해 두께 및 도핑 농도 균일 성과 같은 중요한 매개 변수를 신중하게 모니터링합니다. 우리의 평가에는 최상의 제품 품질을 달성하기 위해 필름 두께, 캐리어 농도, 균일 성 및 표면 거칠기 데이터 분석이 포함됩니다.

Vetek Semiconductor 상단 하프 머문 파트 SIC 코팅은 LPE, Naura, JSG, CETC, NASO Tech 등을 포함한 다양한 장비 모델과 호환됩니다.

오늘 저희에게 연락하여 고품질 상단 반문 부분 SIC 코팅 또는 일정을 탐색하십시오.e 우리 공장 방문.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	전형적인 가치
결정 구조	FCC β 상 다결정, 주로 (111) 배향
밀도	3.21 g/cm³
경도	2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기	2 ~ 10mm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J · Kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700 ℃
굽힘 강도	415 MPa RT 4 점
영률	430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율	300W · m^-1·케이^-1
열 팽창 (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1