진공 척

Veteksemicon은 중국의 주요 진공 척 제조업체이며, 세라믹 진공 척은 웨이퍼와 잉곳과 잉곳을 정확하게 흡착하고 고정시키는 고급 진공 흡착 장치 역할을합니다. 문의를 환영합니다.

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제품 설명

애플리케이션:

웨이퍼와 잉곳의 정확한 흡착 및 확고한 고정을 위해 제작 된 고효율 진공 척. 반도체 제조, 웨이퍼 절단, 정밀 처리, 고온 에피 택시, 에칭 및 이온 임플란트를 포함한 상황에 적합합니다.

핵심 매개 변수:

● 조정 가능한 다공성 (10-200μm 범위).
● 초 고온 (최대 ≤1600 ° C)을 견딜 수 있고 우수한 열 충격 저항을 보여줍니다.
● 흡착 진공 : 표준은 -90kpa (100kpa에 도달하기 위해 사용자 정의 가능)입니다.
● 흡입 컵 치수 : 4/6/8/12- 인치 웨이퍼를 지원할 수 있으며 특정 요구에 따라 잉곳 크기를 조정할 수 있습니다.

ⅰ. 설명

Veteksemicon 세라믹 진공 척은 다공성 세라믹과 금속 외부 링의 결합 된 구조를 사용합니다. 공기 채널과 모공의 개인화 된 설계를 통해 흡착력과 높은 안정성의 균일 한 분포를 깨닫습니다. 이 척은 반도체 제조, 웨이퍼 절단, 정밀 처리 등에 적합합니다. 높은 온도 및 고속 운동 설정에서 작동 할 수 있으며 다양한 크기의 웨이퍼/잉곳의 호환성 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

ⅱ. 핵심 구조 및 재료 장점

다층 복합 레이아웃 :

✔ 표면층: 다공성 세라믹으로 만들어졌습니다 (다공성 실리콘 카바이드 또는 다공성 흑연 중에서 선택할 수 있음). 기공 직경을 조정할 수 있으며 (10-200μm) 흡착력이 웨이퍼의 표면으로 균등하게 옮겨져 국소 응력 구축을 방지합니다.

✔ 매트릭스: 구조적지지와 밀폐 함을 제공하기 위해 매우 강성 금속 프레임 (스테인레스 스틸 또는 알루미늄 합금)으로 구성됩니다.

✔기도와 모공: 정확하게 가공 된 내부기도는 균등 한 간격의 미세 기공과 함께 네트워크를 형성합니다. 이 설정은 빠른 진공 추출 (흡착력 -90kpa에 도달 할 수 있음) 및 인스턴트 방출을 지원합니다.

Ⅲ . MA의 비교초기 특성

1. 재료 특성 비교

재료	다공성 실리콘 카바이드	다공성 흑연
온도 저항	초 고온 (≤1600 ° C)	중간 고온 (≤800 ° C)
화학적 내구성	산 및 알칼리 부식 저항, 혈장 부식 저항	비분화 가스에 저항력이 있으며 저렴한 비용
적용 가능한 장면	고온 에피 택시, 에칭, 이온 이식	웨이퍼 절단, 연삭, 포장

2. 응용 시나리오 및 사례

✔ 반도체 직물

에피축 성장 : 고온에서 SIC 웨이퍼를 단단히 흡수하여 웨이퍼가 뒤틀리고 오염되는 것을 방지 할 수 있습니다.

리소그래피 및 에칭 : 고속 이동 플랫폼 (가속 ≤10g)에서 정확한 위치를 가능하게하여 그래픽 정렬의 정확성을 보장합니다.

✔ Ingot 처리

절단 및 연삭 : 무거운 잉곳 (예 : 사파이어 및 실리콘 - 탄화물 잉곳)을 흡수하여 진동으로 인한 가장자리 균열을 줄일 수 있습니다.

✔ 과학 연구 및 특수 기술