웨이퍼 핸들링 로봇팔

Vetek Semiconductor는 열 분사 기술로 만든 웨이퍼 처리 로봇 팔 전문 기업입니다.

1. 정기 스프레이 기술은 로봇 암의 내마모성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 웨이퍼 처리 로봇 암은 작동 중 웨이퍼 및 기타 장비에 자주 접촉합니다. 이 고주파 접촉과 움직임은 기계적 부품을 쉽게 마모 할 수 있습니다. 로봇 암 표면에 내마모성 재료를 스프레이함으로써 부품의 마모가 크게 줄어들 수 있고 로봇 암의 서비스 수명을 연장 할 수 있으며 유지 보수 비용을 줄일 수 있습니다.

2. 부식 저항의 개선은 열 분무 기술의 상당한 이점입니다. 반도체 제조 공정에서 로봇 암은 부식성 가스 및 화학 시약으로 가득 찬 환경에서 작동해야합니다. 이 화학 물질은 로봇 암을 부식시켜 성능과 정밀도에 영향을 줄 수 있습니다. 열 분무 기술은 로봇 암 표면에 조밀 한 방지 코팅을 형성하여 부식성 물질의 침습을 효과적으로 방지하여 가혹한 환경에서 로봇 암의 안정적인 작동을 보장 할 수 있습니다.

3.열 분사 기술은 로봇 팔의 열 안정성을 향상시킬 수도 있습니다. 반도체 제조 공정 중 일부 공정에서는 고온이 발생하며, 로봇 팔은 고온 환경에서 정밀한 작동을 유지해야 합니다. 용사 기술은 로봇 팔 표면을 고온 안정성이 높은 소재로 코팅해 로봇 팔이 고온에서 변형되거나 열화되지 않도록 함으로써 전체 생산 라인의 신뢰성과 정밀도를 향상시킨다.

4. 안티 스틱 코팅의 적용은 로봇 암의 성능을 더욱 향상시킵니다. 웨이퍼는 정전기에 매우 민감하며 정전기의 축적은 웨이퍼 표면의 오염 또는 전자 장치의 손상을 유발할 수 있습니다. 열 분무 기술을 통해 로봇 암의 표면에 안티 스틱 코팅이 형성되어 정적 전기의 생성을 효과적으로 감소시키고 정전기의 손상으로부터 웨이퍼를 보호하고 제품의 품질과 안전성을 보장합니다.

5. 열 분무 기술은 작동 중에 로봇 암의 입자 오염을 줄일 수 있습니다. 반도체 제조에서, 작은 입자 오염은 웨이퍼의 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 열 분무 기술을 사용함으로써 로봇 암 표면에 부드럽고 밀도가 높은 코팅을 형성하여 입자의 흘림을 줄이고 생산 환경의 청결을 유지하고 생산 환경의 청결을 유지하여 제품의 수율을 향상시킬 수 있습니다.