세라믹 정전기 척

반도체 생산 공정, 특히 웨이퍼 처리는 진공 환경에서 수행되며 기계적으로 클램핑 웨이퍼가 운반합니다. 

특정 위험. 힘이 클램핑 지점에 집중되면 부서지기 실리콘 웨이퍼는 작은 조각을 흘려서 웨이퍼 생산에 심각한 손상을 일으킬 수 있습니다.

이 경우, 세라믹 정전기 척이 더 나은 선택이되어 웨이퍼를 정전기력으로 고정시킵니다. 정전기력은 웨이퍼에서 골고루 작용하므로 웨이퍼를 평평하게 고정하여 공정의 정확도를 향상시킬 수 있습니다.

관련 연구 논문에 따르면, 세라믹 정전기 척은 다른 정전기 척보다 더 강한 흡입을 가지고 있습니다. 예를 들어, 세라믹 정전기 척은 PET 필름 정전기 척보다 훨씬 강한 흡입을 가지고 있습니다.

Ceramics Chuck은 일반적으로 AL2O3, ALN 또는 SIC와 같은 고성능 세라믹 재료로 만들어졌으며, 이는 높은 내열, 단열 및 부식 저항을 갖는다. 다공성 SIC 세라믹 척은 극도의 온도에서 안정적 일뿐 만 아니라 제조 공정 동안 화학 시약 및 혈장 에칭으로 인한 세라믹 E- 척이 분해로부터 효과적으로 방지합니다.

온도 제어: 세라믹 재료의 높은 열전도율과 안정적인 열적 특성은 알루미나 세라믹 진공 척이 온도를 효과적으로 제어하여 공정 동안 온도 분포를 최적화 할 수있게합니다.

진공 적응성: 세라믹 정전기 척은 진공 환경, 특히 저압 및 고정밀 에칭 프로세스에 적합합니다.

낮은 입자 생성: 다공성 SIC 세라믹 e- 척은 매끄러운 표면을 가지므로 웨이퍼 고정 중에 입자 오염을 줄이고 제품 수율을 향상시키는 데 도움이됩니다.

적용 : 주로 반도체 제조, 분리 가능한 세라믹 정전기 척에 사용되어 정확한 위치 및 안정성을 제공하며, 이는 리소그래피, 에칭 및 기타 반도체 웨이퍼 처리 제조 공정에 매우 유용합니다. 처리 중에 웨이퍼가 손상되지 않도록하고 칩 생산의 품질을 향상시킵니다.

반도체세라믹 전자 척 생산 상점 :