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lpe sic epi Halfmoon
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lpe sic epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE ​​리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품인 수평 에피택시로를 위한 특수 설계입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 뛰어난 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다. Vetek Semiconductor는 6인치, 8인치 LPE SiC Epi 하프문을 전문적으로 제조하고 있습니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대하고 있습니다.

전문 LPE SIC EPI Halfmoon 제조업체 및 공급 업체로서 Vetek Semiconductor는 고품질 LPE SIC EPI Halfmoon을 제공하고자합니다.


VeTek Semiconductor의 LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE ​​리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 뛰어난 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다.


LPE SiC Epi Halfmoon은 뛰어난 정밀도와 정확성을 제공하여 균일한 성장과 고품질 에피택셜 레이어를 보장합니다. 혁신적인 디자인과 고급 제조 기술은 최적의 웨이퍼 지원 및 열 관리를 제공하여 일관된 결과를 제공하고 결함을 최소화합니다. 또한 LPE SIC EPI Halfmoon은 프리미엄 탄탈 룸 (TAC) 층으로 코팅되어 성능과 내구성을 향상시킵니다. 이 TAC 코팅은 열 전도성, 화학 저항 및 내마비를 크게 향상시켜 제품을 보호하고 수명을 연장합니다.


LPE SiC Epi Halfmoon에 TaC 코팅을 통합하면 공정 흐름이 크게 개선됩니다. 열 관리를 강화하여 효율적인 열 방출을 보장하고 안정적인 성장 온도를 유지합니다. 이러한 개선으로 인해 공정 안정성이 향상되고 열 응력이 감소하며 전체 수율이 향상됩니다. 또한 TAC 코팅은 재료 오염을 최소화하여 더 깨끗한 등을 허용합니다. 제어된 에피택시 공정. 이는 원치 않는 반응과 불순물에 대한 장벽 역할을 하여 더 높은 순도의 에피택셜 층을 만들고 장치 성능을 향상시킵니다.


유사한 Epitaxy 프로세스를 위해 Vetek Semiconductor의 LPE SIC Epi Halfmoon을 선택하십시오. 고급 디자인, 정밀도 및 변형력의 이점을 경험하십시오.TaC 코팅제조 작업을 최적화 할 때. Vetek Semiconductor의 업계 최고의 솔루션으로 성능을 높이고 탁월한 결과를 얻으십시오.


LPE SIC Epi Halfmoon의 제품 매개 변수

TaC 코팅의 물리적 특성
코팅 밀도 14.3(g/cm3)
특정 방사율 0.3
열 팽창 계수 6.3*10-6/케이
TaC 코팅 경도(HK) 2000홍콩
저항 1×10-5옴*cm
열 안정성 <2500 ℃
흑연 크기 변화 -10 ~ -20UM
코팅 두께 ≥20UM 전형적인 값 (35um ± 10um)


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반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :

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