실리콘 카바이드 시드 크리스탈 본딩 진공 핫 프레스로

SiC 시드 결합 기술은 영향을 미치는 핵심 프로세스 중 하나입니다.결정 성장.VETEK은 전문적인 기술을 개발했습니다.진공 핫 프레스로이 공정의 특성을 바탕으로 종자 결합을 위한 것입니다. 퍼니스는 시드 접합 과정에서 발생하는 다양한 결함을 효과적으로 감소시켜 결정 잉곳의 수율과 최종 품질을 향상시킬 수 있습니다.

소개하다

1. 퍼니스는 전에 종자 결합에 사용됩니다.SiC 결정 성장

2. 접착된 종자는 2300℃의 온도에서 견고하게 부착되어 기포 없이 100% 접착력을 유지하며 평탄도가 높고 종자 표면이 깨끗하며 불순물이 흡착되지 않습니다.

3.가열된 판형은 나선형 디스크 모양의 균일한 가열 영역의 저항 가열을 채택하여 사용이 간편하고 작동이 쉽습니다.

4. 힘 센서가 장착된 로드 플레이트폼의 바닥에 공작물에 가해지는 다운포스가 정확하게 표시됩니다. 

기능 소개

1. 이중벽의 수냉식 금속 챔버는 퍼니스 본체의 외부 표면 온도를 효과적으로 낮추고 고온 피해를 최소화하며 환경에 미치는 영향을 낮춥니다.

2. 자동 증가 다운포스 및 포스 홀딩, 느린 로딩 포스를 달성할 수 있으며 변위는 자동으로 제어될 수 있습니다.

3. 다양한 진공 구성이 가능하며 공정에 따라 다양한 진공 수준을 선택할 수 있습니다.

4. 균일한 압력과 고온 제어 정확도.

5. 다운포스 구조는 정밀한 기계식 추력 설계를 채택하여 정확하고 안정적인 다운포스, 안전한 사용 및 환경 친화성을 보장합니다.

6. 다운 스탬프는 "범용" 방식으로 푸시로드에 연결됩니다. 공작물이 눌러졌을 때 다운 스탬프의 표면이 가열된 플레이트폼의 표면과 평행하게 조정되어 공작물이 균일한 다운포스를 지탱할 수 있도록 보장합니다.

7. 다운 스탬프에는 로딩 다운포스를 완충하는 기능이 있어 충격 없이 부드럽고 부드러운 다운포스를 제공하여 공작물의 균열을 방지합니다.

9. 가열된 플레이트폼과 다운포스 스탬프 모두 단열 쉴드가 장착되어 있어 비효과적인 온도 손실을 줄입니다.

매개변수

특징

1.느린 진공 펌핑, 진공 펌핑 속도 조절 가능

2. 대형 챔버, 대형 업그레이드 공간

3. 다운 스탬프가 안정적으로 작동하고 자동으로 작동합니다.

4. 다운포스 느린 완화 및 느린 증가, 레시피 자동 제어에 따른 다운포스 램프

5. 온도와 다운포스를 정확하게 프로그래밍하여 제어

6. 다양한 접착 프로세스에 맞게 진공, 다운포스 및 온도 매개변수를 자유롭게 설정할 수 있습니다.

7. 결합이 압축되고 기포가 없습니다.

8.균열 발생률이 매우 낮으며, 장비 문제로 인한 균열이 거의 발생하지 않습니다.

9. 6-12 인치의 시드 본딩과 호환 가능

10.최대. 다운포스: 1.6T

11.최고진공 : 5Pa(차가운)

12.가열판의 온도 균일성：<±3℃,σ<4(200℃)

13. 압력 변동:<0.5%