실리콘 카바이드 SIC 웨이퍼 보트

Veteksemicon SIC 웨이퍼 보트는 고온 반도체 프로세스를 위해 특별히 설계된 핵심 캐리어입니다. 기판으로서 고순도로 눌린 흑연을 사용하여,이 제품은 특허받은 화학 증기 증착 기술을 사용하여 표면에 밀도가 높고 비 지공스러운 실리콘 카바이드 보호 층을 형성합니다.

이 층은 흑연의 우수한 열전도율을 실리콘 카바이드의 탁월한 내식성과 완벽하게 결합합니다. 엄격하게 제어 된 코팅은 80-120μm의 두께를 달성하여 다양한 산성 및 알칼리성 대기로부터의 부식에 효과적으로 저항하여 금속 오염의 위험을 크게 감소시킨다. 고온 환경에서도 구조적 안정성과 치수 무결성을 유지하여 산화, 확산 및 에피 택셜 성장과 같은 중요한 과정에서 신뢰할 수있는 보호 및 웨이퍼 지원을 제공하여 웨이퍼 수명을 기존의 흑연 보트의 3 배 이상 효과적으로 확장시킵니다.

ⅰ. 기술 매개 변수

ⅱ. Veteksemicon sic 웨이퍼 보트 코어 장점

• 탁월한 부식 저항

Veteksemicon 웨이퍼 보트의 SIC 코팅은 독점적 인 고온 CVD 공정을 사용하여 퇴적하여 모공과 균열이 완전히없는 조밀하고 균일 한 구조를 만들어냅니다. 이 견고한 장벽은 용광로 환경에서 웨이퍼를 효과적으로 분리합니다. 강한 산화 대기, 불소화 된 화합물 및 기타 부식성 가스는이 보호 층에 영향을받지 않습니다. 이것은 웨이퍼가 오염으로부터 보호되는 반면, 보트 자체는 반복적 인 극단적 인 프로세스를 통해 손상되지 않아 서비스 수명을 크게 연장합니다.

• 매우 높은 순도 재료

우리는 가장 작은 오염조차도 웨이퍼의 전체 배치를 쓸모 없게 만들 수 있음을 이해합니다. 따라서, Veteksemicon은 기질로서 99.9995%를 초과하는 순도를 갖는 수입 된 등방성 프레스 흑연을 사용하여 원료를 엄격하게 제어한다. 이 기판에 증착 된 SIC 코팅은 또한 나트륨, 칼륨, 철 및 중금속과 같은 임의의 불순물과 함께 99.999% 순도를 달성합니다. 이 근적 인 순도는 고온에서 오염 물질이 방출되지 않도록하여 운송 업체 관련 문제로 인한 장치 성능 저하 위험을 근본적으로 제거합니다.

• 우수한 열 안정성

반도체 제조에는 매우 일관된 열 공정이 필요합니다. Veteksemicon 웨이퍼 보트의 열 팽창 계수는 실리콘 웨이퍼와 밀접하게 일치하도록 세 심하게 설계되었습니다. 빠른 가열 및 냉각 동안 보트와 웨이퍼는 동기화되어 열 응력으로 인한 격자 결함과 뒤틀림의 위험을 크게 줄입니다. 최대 1600 ℃의 연속 작동 온도를 견딜 수있어 이러한 고온에서도 우수한 기계적 강도와 치수 안정성을 유지할 수 있습니다. 이를 통해 모든 공정 실행에서 반복성과 신뢰성을 보장하여 칩 제조의 공차 제어를위한 견고한 토대를 제공합니다.

• 내구성있는 기계적 강도

우리 제품의 가치는 초기 투자뿐만 아니라 장기 소유 비용에도 있습니다. 전통적인 석영 또는 흑연 성분과 비교하여 Veteksemicon SIC 웨이퍼 보트는 탁월한 마모 및 충격 저항을 제공합니다. 그들의 높은 표면 경도는 취급 및 청소 중 흠집과 잔해에 저항합니다. 이 강인성을 통해 200 개가 넘는 고온 공정주기 및 필요한 청소 절차를 쉽게 견딜 수있어 구성 요소 교체와 관련된 조달 비용, 재고 비용 및 장비 다운 타임이 크게 줄어 듭니다.

• 생태 체인 검증 보증

Veteksemicon SIC 웨이퍼 보트의 생태 체인 검증은 원자재를 생산에 적용하고 국제 표준 인증을 통과했으며 반도체 및 새로운 에너지 분야의 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위해 많은 특허 기술을 보유하고 있습니다.

ⅲ. 주요 응용 프로그램 필드

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비는 기술 지원 팀에 문의하여 Veteksemicon이 프로세스 효율성을 향상시킬 수있는 방법을 살펴보십시오.

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