SIC 확산 용광로 튜브

SIC 확산 용광로 튜브의 작동 회로도

Vetek 반도체 SIC 확산 용광로 튜브는 다음과 같은 제품의 이점이 있습니다.

우수한 고온 기계적 특성: SIC 확산 용광로 튜브는 탁월한 강도 및 크리프 저항을 포함하여 알려진 모든 세라믹 재료의 최고의 고온 기계적 특성을 갖습니다. 이로 인해 고온에서 장기 안정성이 필요한 응용 분야에 특히 적합합니다.

우수한 산화 저항: Vetek 반도체의 SIC 확산 용광로 튜브는 산화성이 우수한 우수한 산화 저항성을 가지고 있으며, 모든 비산화물 세라믹 중 최고입니다. 이 특성은 고온 환경에서 장기 안정성과 성능을 보장하여 분해 위험을 줄이고 튜브 수명을 연장합니다.

● 높은 굴곡 강도: Veteksemi Sic 확산 용광로 튜브는 200mpa 이상의 굽힘 강도를 가지므로 반도체 제조 공정의 전형적인 높은 응력 조건 하에서 우수한 기계적 특성과 구조적 무결성을 보장합니다.

● 우수한 부식 저항e: SIC 용광로 튜브의 화학적 불활성은 탁월한 부식 저항을 제공하므로 이러한 튜브는 반도체 처리에서 종종 발생하는 가혹한 화학 환경에서 사용하기에 이상적입니다.

● 높은 내마모성: SIC 튜브 퍼니스는 강한 내마모성을 가지며, 이는 연마 조건에서 장기간 사용될 때 치수 안정성을 유지하고 유지 보수 요구 사항을 줄이는 데 필수적입니다.

● CVD 코팅: Vetek 반도체 화학 증기 증착 (CVD) SIC 코팅은 순도 수준이 99.9995%, 불순물 함량은 5ppm 미만이며 1ppm 미만의 유해한 금속 불순물을 갖는다. CVD 코팅 공정은 튜브가 2-3TORR의 엄격한 진공 조임 요구 사항을 충족 시키며, 이는 고정밀 반도체 제조 환경에 중요합니다.

● 확산 용광로의 적용:이 SIC 튜브는 반도체 확산 용광로를 위해 설계되었으며, 이들은 도핑 및 산화와 같은 고온 공정에서 중요한 역할을합니다. 고급 재료 특성은 이러한 프로세스의 가혹한 조건을 견딜 수 있도록하여 반도체 생산의 효율성과 신뢰성을 향상시킵니다.

Vetek 반도체는 오랫동안 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔으며 전문적인 맞춤형 서비스를 지원합니다. Vetek 반도체의 SIC 확산 용광로 튜브를 선택하면 현대적인 반도체 제조의 다양한 요구를 충족시키기 위해 탁월한 성능과 높은 신뢰성을 갖춘 제품을 얻게됩니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 바랍니다.

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