SiC 웨이퍼 보트

SIC 웨이퍼 보트는 웨이퍼 표면에 온도가 골고루 분포 될 수 있도록 주로 산화 및 확산 공정을 위해 웨이퍼를 운반하는 데 사용됩니다. SIC 재료의 고온 안정성과 높은 열전도율은 효율적이고 신뢰할 수있는 반도체 처리를 보장합니다. Vetek 반도체는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

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제품 설명

SiC 웨이퍼보트에 대한 이해를 돕기 위해 VeTek Semiconductor의 고품질 SiC 웨이퍼보트를 소개합니다. 더 나은 미래를 만들기 위해 계속해서 협력할 신규 고객과 기존 고객을 환영합니다!

SiC 웨이퍼 보트 애플리케이션 개요:

SiC 수평 사각 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 지지대 역할을 하는 중요한 구성 요소 역할을 합니다. 이 보트는 처리 중 섬세한 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 처리하는 데 중요한 역할을 합니다.

SIC 웨이퍼 보트 기능 요구 사항 :

고온 강도 : 보트는 고온 처리의 가혹한 환경을 견딜 수 있도록 고온에서 탁월한 강도를 보여 주어야합니다.

고온 화학적 안정성: 극한의 고온 조건에서 구조적 무결성과 화학적 조성을 유지하면 공정 순도가 보장됩니다.

입자가없는 성능 : 보트에는 가공 웨이퍼의 품질을 보호하기 위해 보트에 입자 생성 또는 오염이 없어야합니다.

Vetek 반도체의 SIC 웨이퍼 보트를 선택하는 이유는 무엇입니까?

다목적 사양 : Vetek Semiconductor는 다양한 표준 사양을 제공하며 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스를 제공합니다.

품질과 속도 : Vetek 반도체는 고품질 제품과 빠른 전달을 보장하여 빠르게 진행되는 산업의 요구를 충족시킵니다.

소재 전문성: 조밀한 재결정 탄화규소 소재를 활용하면 보트의 우수한 성능과 수명이 보장됩니다.

고온 임계값: Vetek Semiconductor 보트는 가장 까다로운 고온 공정에 적합한 1600°C의 최대 작동 온도를 자랑합니다.

비용 효율성: Vetek Semiconductor 보트는 매우 경쟁력 있는 비용 대비 성능 비율을 제공하여 가격 대비 가치를 제공합니다.

내구성: 긴 수명을 갖춘 Vetek Semiconductor 보트는 웨이퍼 처리 공정에서 신뢰성과 일관성을 제공합니다.

Vetek 반도체는 품질, 커스터마이즈 옵션, 재료 혁신, 고온 기능, 비용 효율성 및 장수에 대한 헌신으로 시장에서 두드러지며 전 세계적으로 반도체 제조업체에 선호되는 선택이됩니다.

SiC 웨이퍼 보트의 제품 매개변수:

재결정 실리콘 탄화물의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600 ° C (산소 포함), 1700 ° C (환경 감소)
SiC 함량	> 99.96%
무료 SI 컨텐츠	<0.1%
벌크 밀도	2.60-2.70g/cm2³
겉보기 다공성	<16%
압축 강도	> 600MPa
콜드 굽힘 강도	80-90 MPa (20 ° C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
1500 ° C @열 팽창	4.70x10^-6/° C
열전도율 @1200 ° C	23 W/m•K
탄성 계수	240 GPA
열 충격 저항	매우 좋습니다