실리콘 카세트 보트

Veteksemicon이 제공하는 실리콘 카세트 보트는 현대 반도체 웨이퍼 제조의 엄격한 열, 기계 및 오염 제어 요구 사항에 맞게 설계되었습니다. 초고순도 단결정 또는 폴리실리콘으로 제조되고 업계 최고의 청정도 표준에 따라 처리된 실리콘 카세트 보트는 산화, 확산, 어닐링 및 기타 용광로 기반 열 사이클을 겪는 웨이퍼의 중요한 캐리어 시스템 역할을 합니다. 고온에서의 화학적 불활성, 실리콘 웨이퍼와 일치하는 열팽창, 극도로 낮은 금속 불순물 농도 등 고유한 재료 특성을 통해 입자 생성 및 열 응력을 최소화하고 서브미크론 및 고급 노드 생산에 필수적인 균일성과 반복성을 보장합니다.

수직 및 수평 가열로 플랫폼 내에서 Silicon Cassette Boat는 정확한 웨이퍼 간격과 안정적인 기계적 지원을 제공하여 전체 배치에 걸쳐 일관된 열 전달과 균일한 가스 흐름을 허용합니다. 석영 또는 세라믹 캐리어와 일반적으로 관련된 재료 간 상호 작용을 제거함으로써 1200°C에 가까운 온도에서도 장시간 고온 담그는 동안 웨이퍼 표면을 오염으로부터 보호하는 데 도움이 됩니다. 캐리어와 기판 사이의 이러한 재료 정렬은 또한 슬립 라인, 미세 균열 및 뒤틀림을 줄여 두꺼운 산화물 성장, 드라이브인 확산, 고온 주입 어닐링 및 전력 장치 에피택셜 처리와 같은 응용 분야에 보트를 특히 유리하게 만듭니다.

자동화된 로딩 시스템, FOUP-퍼니스 전송 모듈 및 로봇식 웨이퍼 핸들링과 완벽하게 통합되도록 설계된 Veteksemicon의 실리콘 카세트 보트는 200mm 및 300mm 제조 환경을 모두 지원하며 최첨단 퍼니스 OEM 사양을 준수합니다. 높은 치수 정밀도, 최적화된 슬롯 형상 및 고급 표면 마감 처리는 탁월한 열 균일성, 결함 감소, 작동 수명 연장에 기여합니다. 이는 공정 수율과 장비 가동 시간을 직접적으로 향상시키는 요소입니다.

Veteksemicon의 재료 과학 전문 지식과 엄격한 품질 관리를 바탕으로 실리콘 카세트 보트는 O2, H2, N2 또는 불활성 가스 혼합물과 같은 까다로운 고온 대기에서 여러 열 사이클, 낮은 입자 발산 및 예측 가능한 동작 전반에 걸쳐 안정적인 성능을 제공합니다. 향상된 오염 제어, 예측 가능한 열 프로파일 및 차세대 장치 제조와의 호환성이 필요한 제조 시설의 경우 Silicon Cassette Boat는 공정 신뢰성을 강화하고 웨이퍼 수준 균일성을 개선하며 일관된 대량 반도체 생산을 가능하게 합니다.