Vetek 반도체의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 반도체 제조 공정에서 중요한 구성 요소이며, 특히 확산 용광로 또는 LPCVD 용광로가 확산 및 RTP와 같은 고온 공정에서 적합합니다. 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 우수한 고온 저항성과 기계적 강도로 신중하게 설계 및 제조되며 확산 및 RTP와 같은 다양한 고온 공정에 대한 가혹한 공정 조건 하에서 공정 튜브로 안전하고 안정적으로 운반 할 수 있습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다.
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Vetek 반도체의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 고순도 실리콘 카바이드로 만들어졌으며 고온 저항성과 기계적 강도가 우수합니다. 반도체 제조 공정, 특히 확산 또는 LPCVD 용광로 및 RTP 공정에서 필수 불가결 한 핵심 구성 요소입니다. 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 정확한 설계 및 제조는 고정식 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 웨이퍼의 안전한 포지셔닝 및 전송을 보장합니다.
Vetek 반도체의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 주요 재료로서 실리콘 카바이드로 만들어졌습니다. 실리콘 카바이드는 고강도 및 우수한 열 안정성의 특성을 가지므로 반도체 용광로의 고온 공정 환경에서 가혹한 조건을 견딜 수 있습니다. 실리콘 카바이드를 선택한 이유 중 하나는 반도체 용광로에서 고온 환경에 적응할 수 있기 때문입니다.
실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 설계를 통해 퍼니스의 공정 튜브로 확장하고 튜브 외부의 한쪽 끝에 단단히 고정 될 수 있습니다. 이 설계는 처리중인 웨이퍼가 공정 중에 안정적이고 지원되는 상태로 유지되며 용광로의 열 환경과의 간섭을 최소화합니다.
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