실리콘 카바이드 세라믹

VeTek Semiconductor는 반도체 처리 분야의 혁신적인 파트너입니다. 광범위한 반도체급 실리콘 카바이드 세라믹 재료 조합, 부품 제조 역량 및 응용 엔지니어링 서비스 포트폴리오를 통해 당사는 귀사가 심각한 과제를 극복하도록 도울 수 있습니다. 엔지니어링 기술 실리콘 카바이드 세라믹은 탁월한 재료 성능으로 인해 반도체 산업에 널리 적용됩니다. VeTek Semiconductor의 초순수 탄화규소 세라믹은 반도체 제조 및 가공의 전체 주기에 걸쳐 자주 사용됩니다.

확산 및 LPCVD 공정

VeTek Semiconductor는 다음을 포함하여 배치 확산 및 LPCVD 요구 사항을 위해 특별히 설계된 엔지니어링 세라믹 부품을 제공합니다.

• 배플 및 홀더
• 주사기
• 라이너 및 프로세스 튜브
• 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
• 웨이퍼 보트 및 받침대

SiC 캔틸레버 패들 SiC 공정 튜브 실리콘 카바이드 프로세스 튜브 SiC 수직형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 쿼어 웨이퍼 보트 SiC LPCVD 웨이퍼 보트 SiC 수평 플레이트 보트 SiC 세라믹 씰 링

에칭 공정 구성 요소

다음을 포함하여 엄격한 플라즈마 식각 공정을 위해 설계된 고순도 구성 요소를 사용하여 오염과 예정되지 않은 유지 관리를 최소화합니다.

초점 링

노즐

방패

샤워헤드

창문 / 뚜껑

기타 맞춤 구성요소

급속 열 처리 및 에피택셜 공정 구성 요소

VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 고온 열 처리 응용 분야에 맞춰진 고급 소재 부품을 제공합니다. 이러한 응용 분야에는 RTP, Epi 공정, 확산, 산화 및 어닐링이 포함됩니다. 당사의 기술 세라믹은 열충격을 견디도록 설계되어 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. VeTek Semiconductor의 부품을 통해 반도체 제조업체는 효율적이고 고품질의 열 처리를 달성하여 반도체 생산의 전반적인 성공에 기여할 수 있습니다.

• 디퓨저

• 절연체

• 서셉터

• 기타 맞춤형 열 구성요소

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC/SiC 함량	> 99.96%
Si / 자유 Si 함량	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.7010-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋음

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실리콘 받침대

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal은 반도체 확산 및 산화 공정의 핵심 구성 요소입니다. Silicon Pedestal은 고온로에서 실리콘 보트를 운반하기 위한 전용 플랫폼으로 온도 균일성 향상, 웨이퍼 품질 최적화, 반도체 장치 성능 향상 등 많은 고유한 장점을 가지고 있습니다. 더 많은 제품 정보를 원하시면, 저희에게 연락 주시기 바랍니다.

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SIC 세라믹 씰 링

Vetek Semiconductor Sic 세라믹 씰 링은 중국의 대규모 공장 및 SIC 세라믹 씰 링 제품 공급 업체로서 우수한 열전도율, 뛰어난 화학 및 부식성, 고강도 및 강성으로 인해 산업 분야에서 광범위한 응용 분야를 가지고 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

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SIC 확산 용광로 튜브

중국의 확산 용광로 장비의 주요 제조업체 및 공급 업체로서 Vetek 반도체 SIC 확산 용광로 튜브는 굽힘 강도가 상당히 높고 산화에 대한 우수한 저항성, 부식성, 내마모성 및 우수한 고온 기계적 특성을 가지고 있습니다. 확산 용광로 응용 분야에서 필수 장비 자료로 만듭니다. Vetek 반도체는 고품질 SIC 확산 용광로 튜브를 제조 및 공급하기 위해 최선을 다하고 있으며 추가 문의를 환영합니다.

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고순도 SIC 웨이퍼 보트 캐리어

VeTek Semiconductor는 맞춤형 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어를 제공합니다. 고순도 탄화규소로 제작된 이 제품에는 웨이퍼를 제자리에 고정하는 슬롯이 있어 처리 중에 웨이퍼가 미끄러지는 것을 방지합니다. 필요한 경우 CVD SiC 코팅도 가능합니다. 전문적이고 강력한 반도체 제조업체 및 공급업체인 VeTek Semiconductor의 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어는 가격 경쟁력과 고품질입니다. VeTek Semiconductor는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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