실리콘 카바이드 세라믹

Veteksemicon SIC 웨이퍼 보트는 반도체 제조에서 중요한 고온 공정에서 널리 사용되며, 실리콘 기반 통합 회로를위한 산화, 확산 및 어닐링 공정을위한 신뢰할 수있는 캐리어 역할을합니다. 또한 3 세대 반도체 부문에서 탁월하며, EPI (Epitaxial Growth) 및 SIC 및 GAN 전력 장치에 대한 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD)과 같은 까다로운 공정에 완벽하게 적합합니다. 또한 태양 광 산업에서 고효율 태양 전지의 고온 제조를 지원합니다. 추가 상담을 기대합니다.

Veteksemicon sic 캔틸레버 패들은 수평 확산 용광로 및 에피 택셜 반응기에서 웨이퍼 취급을 위해 설계된 고급 실리콘 카바이드지지 암입니다. 탁월한 열전도율, 부식 저항 및 기계적 강도를 통해이 패들은 까다로운 반도체 환경에서 안정성과 청결을 보장합니다. 맞춤형 크기로 제공되며 긴 서비스 수명에 최적화되었습니다.

Veteksemicon의 SIC 블록은 실리콘 및 사파이어 웨이퍼의 고효율 연삭 및 얇아 지도록 설계되었습니다. 우수한 열전도율 (≥120 W/M · K), 높은 열 충격 저항 및 우수한 내마모성 (MOHS ≥9)을 사용하면 공정 안정성을 향상시키고 공구 변화 주파수를 줄입니다. 120mm ~ 480mm 크기로 제공되며 다양한 생산 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 옵션과 빠른 배송으로 제공됩니다.

Veteksemicon sic ceramics 막은 무기 막의 유형이며 막 분리 기술에서 고체 막 물질에 속합니다. Sic 멤브레인은 2000 년 이상의 온도에서 발사됩니다. 입자의 표면은 매끄럽고 둥글다. 지지 계층과 각 층에는 닫힌 기공이나 채널이 없습니다. 그들은 일반적으로 기공 크기가 다른 3 개의 층으로 구성됩니다.

우리의 다공성 siC 세라믹 플레이트는 주요 구성 요소로서 실리콘 카바이드로 만든 다공성 세라믹 재료이며 특수 공정에 의해 처리된다. 그것들은 반도체 제조, 화학 증기 증착 (CVD) 및 기타 공정에서 필수 물질입니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 SIC 도자기 웨이퍼 보트 공급 업체, 제조업체 및 공장입니다. 우리의 SIC Ceramics Wafer Boat는 태양 광, 전자 제품 및 반도체 산업을 수용하는 고급 웨이퍼 처리 프로세스의 중요한 구성 요소입니다. 귀하의 상담을 기대합니다.