다공성 실리콘 탄화물 (SIC) 세라믹 플레이트 : 반도체 제조의 고성능 재료

ⅰ. 다공성 SIC 세라믹 플레이트는 무엇입니까?

다공성 실리콘 카바이드 세라믹 플레이트는 특수 공정 (예 : 폼, 3D 프린팅 또는 기공 형성제 추가)에 의해 실리콘 카바이드 (SIC)로 만든 다공성 구조 세라믹 재료입니다. 핵심 기능은 다음과 같습니다.

● 제어 가능한 다공성: 30% -70% 다양한 응용 프로그램 시나리오의 요구를 충족하도록 조정 가능합니다.

● 균일 한 기공 크기 분포: 가스/액체 전송 안정성을 보장합니다.

● 가벼운 디자인: 장비 에너지 소비를 줄이고 운영 효율성을 향상시킵니다.

ⅱ. 다공성 SIC 세라믹 플레이트의 피스 핵심 물리적 특성 및 사용자 가치

1. 고온 저항 및 열 관리 (주로 장비 열전의 문제를 해결하기 위해)

● 극한 온도 저항: 연속 작업 온도는 1600 ° C (알루미나 세라믹보다 30% 높음)에 도달합니다.

● 고효율 열 전도성: 열전도율 계수는 120 w/(m · k)이며, 빠른 열 소산은 민감한 구성 요소를 보호합니다.

● 초 저 열 팽창: 열 팽창 계수는 4.0 × 10/° C에 불과하며, 고온에서 작동하는 데 적합하여 고온 변형을 효과적으로 피합니다.

2. 화학적 안정성 (부식성 환경의 유지 보수 비용 절감)

● 강산과 알칼리에 내성이 있습니다: HF 및 HASSO와 같은 부식성 매체를 견딜 수 있습니다.

● 혈장 침식에 내성: 마른 에칭 장비의 수명은 3 배 이상 증가합니다.

3. 기계적 강도 (장비 수명 확장)

● 높은 경도: Mohs 경도는 9.2만큼 높고 내마모성은 스테인레스 스틸보다 낫습니다.

● 굽힘 강도: 300-400 MPA, 뒤틀지 않고 웨이퍼를지지합니다

4. 다공성 구조의 기능화 (공정 수율 개선)

● 균일 한 가스 분포: CVD 공정 필름 균일 성은 98%로 증가합니다.

● 정확한 흡착 제어: 정전기 척 (ESC)의 위치 정확도는 ± 0.01mm입니다.

5. 청결 보증 (반도체 등급 표준에 따라)

● 제로 금속 오염: 순도> 99.99%, 웨이퍼 오염을 피하십시오

● 자가 청소 특성: 미세 다공성 구조는 입자 증착을 감소시킨다

III. 반도체 제조에서 다공성 SIC 플레이트의 4 가지 주요 응용

시나리오 1 : 고온 공정 장비 (확산 용광로/어닐링 용광로)

● 사용자 통증 지점: 전통적인 재료는 쉽게 변형되어 웨이퍼 스크래핑이 발생합니다.

● 솔루션: 캐리어 플레이트로서 1200 ° C 환경에서 안정적으로 작동합니다.

● 데이터 비교: 열 변형은 알루미나보다 80% 낮습니다.

시나리오 2 : 화학 기상 증착 (CVD)

● 사용자 통증 지점: 고르지 않은 가스 분포는 필름 품질에 영향을 미칩니다

● 솔루션: 다공성 구조는 반응 가스 확산 균일 성이 95%에 도달합니다.

● 산업 사례: 3D NAND 플래시 메모리 박막 증착에 적용

시나리오 3 : 드라이 에칭 장비

● 사용자 통증 지점: 혈장 침식 쇼RTENS 구성 요소 수명

● 솔루션: 안티 플라즈마 성능은 유지 보수주기를 12 개월로 연장합니다.

● 비용 효율성: 장비 다운 타임은 40% 감소합니다.

시나리오 4 : 웨이퍼 청소 시스템

● 사용자 통증 지점: 산 및 알칼리 부식으로 인한 부품의 빈번한 교체

● 솔루션: HF 산성 저항은 서비스 수명이 5 년 이상에 도달하게합니다.

● 검증 데이터: 강도 유지율은 1000 개 청소주기 후 90%입니다

IV. 3 전통적인 재료에 비해 주요 선택 장점

업계 사용자를위한 V. FAQ

Q1 : 다공성 SIC 세라믹 플레이트는 질화 갈륨 (GAN) 장치 생산에 적합합니까?

답변: 그렇습니다. 고온 저항과 높은 열전도율은 Gan 에피 택셜 성장 공정에 특히 적합하며 5G 기지국 칩 제조에 적용되었습니다.

Q2 : 다공성 매개 변수를 선택하는 방법은 무엇입니까?

답변: 응용 프로그램 시나리오에 따라 선택하십시오.

● 분배 가스tion: 40% -50% 열린 다공성이 권장됩니다

● 진공 흡착: 60% -70% 높은 다공성이 권장됩니다

Q3 : 다른 실리콘 카바이드 세라믹의 차이점은 무엇입니까?

답변: 밀도와 비교됩니다SIC 도자기, 다공성 구조에는 다음과 같은 장점이 있습니다.

● 50% 중량 감소

● 특정 표면적이 20 배 증가합니다

● 열 응력의 30% 감소