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Veeco LED EP
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Veeco LED EP

Vetek 반도체의 VEECO LED EPI 감수자는 적색 및 노란색 LED의 에피 택셜 성장을 위해 설계되었습니다. 고급 재료 및 CVD SIC 코팅 기술은 감수체의 열 안정성을 보장하여 성장 중 온도 필드를 균일하게 만들고 결정 결함을 줄이며 에피 택셜 웨이퍼의 품질과 일관성을 향상시킵니다. Veeco의 에피 택셜 성장 장비와 호환되며 생산 라인에 원활하게 통합 될 수 있습니다. 정확한 설계와 안정적인 성능은 효율성을 향상시키고 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

LED는 전기 에너지를 가시광으로 변환 할 수있는 고체 상태 반도체 장치입니다. P-N 접합에 전방 전압을 적용함으로써, 전자 및 구멍은 P-N 접합에서 재조합된다. 전자가 높은 에너지 수준에서 낮은 에너지 수준으로 점프하면 에너지가 방출되어 광자 형태로 방출되어 빛이 발생합니다. 다른 반도체 재료는 다른 색의 빛을 방출합니다. LED는 발광 효율이 높으며 대부분의 전기 에너지를 직접 광 에너지로 변환 할 수 있습니다. 일반적으로 서비스 수명이 길며 매우 환경 친화적입니다.


Working diagram of VEECO LED EPI Susceptor

알루미늄 갈륨 인듐 포스 파이트 (Algainp)는 빨간색과 노란색 LED를 만드는 주요 재료입니다. 재료에서 알루미늄 (Al), 갈륨 (GA), 인듐 (In) 및 인 (P)의 조성 비를 조정함으로써, 재료의 밴드 갭을 변경하여 적색에서 노란색으로 빛의 방출을 달성 할 수있다. 제조 공정에서 에피 택셜 성장이 핵심 단계입니다. algainp epitaxy는 일반적으로 채택됩니다금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 기술. 적색 LED의 에피 택셜 층을 성장시킬 때, 최종 물질이 적색 빛을 방출 할 수 있도록 트리메틸 알루미늄, 트리메틸 갈 리움, 트리메틸 린듐 및 포스 핀과 같은 원료의 비율 및 반응 조건이 제어됩니다.


적색 및 노란색 LED의 에피 택셜 성장 공정에서는 분포와 효과적인 열 제어조차 중요합니다. Vetek 반도체의 VEECO LED EPI 감수자는 열전도율이 우수하여 열전도가 우수하며, 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 온도 균일 성의 최소한의 편차를 보장 할 수 있습니다. 에피 층의 성장률과 품질을 크게 향상시킵니다.


SGL 흑연 및 고급 사용CVD SIC 코팅기술, Vetek 반도체의 Veeco LED EPI 감수자는 내구성이 뛰어납니다. 그것은 원래 감수자와 가장 큰 정도로 구별 할 수 없습니다. 장기, 고강도 MoCVD 생산 공정에서 항상 안정성을 유지합니다. Vetek 반도체의 VEECO LED EPI 감수자는 부식과 변형에 대한 강한 저항을 보여줍니다. 이는 회사가 감수자를 자주 교체 할 필요가 없으며 생산 장비의 유지 보수 비용과 다운 타임을 크게 줄입니다.


Vetek 반도체는 빨간색 및 노란색 LED 제조 공정에서 다른 고객의 개별 요구를 완전히 고려합니다. Vetek 반도체는 특정 크기 또는 특수 프로세스 매개 변수의 웨이퍼 생산을위한 맞춤형 Veeco LED EPI 감수자 솔루션을 제공 할 수 있습니다.


Vetek Semiconductor의 전문 기술 팀은 특정 응용 프로그램 시나리오, 장비 구성 및 생산 목표에 따라 가장 적합한 감수자 제품을 조정하기 위해 고객과 심도있게 통신하여 회사가 기술 혁신 및 제품 업그레이드를 달성 할 수 있도록 도와줍니다.


CVD SIC 코팅 필름의 SEM 데이터 :

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
재산
전형적인 가치
결정 구조
FCC β 상 다결정, 주로 (111) 배향
코팅 밀도
3.21 g/cm³
SIC 코팅 경도 2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기
2 ~ 10mm
화학적 순도
99.99995%
CVD SIC 코팅 열 용량
640 J · Kg-1·케이-1
승화 온도
2700
굽힘 강도
415 MPa RT 4 점
영률
430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율
300W · m-1·케이-1
열 팽창 (CTE)
4.5 × 10-6K-1

Vetek 반도체 Veeco LED EPI 감수자 제품 상점 :

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

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