흑연 회전 지원

웨이퍼 감수자는 에피 택셜 성장 과정의 필수품입니다. 에피 택셜 성장 동안, 웨이퍼 기판은 감수자에 배치됩니다. Vetek 반도체의 고급 흑박 흑연 회전 감수기는 고온 및 고 진공 환경의 재료 처리 장비에 사용됩니다. 질화 갈륨 (MOCVD 공정)의 에피 택셜 성장에서, 그들은 기질의 회전에서지지 역할을한다. Vetek Semiconductor의 회전 흑연 감수자는 다음과 같은 장점이 있습니다.

● 고순도: 고급 흑연 회전 감수기의 불순물 함량은 5ppm 미만입니다. 이 수준의 순도 흑연은 증착 과정의 청결을 보장하기 위해 고온에서 불순물의 방출을 피할 수 있습니다. 따라서 작업 요구 사항을 충족시키기 위해 코팅이 필요하지 않습니다.

고순도 흑연

● 우수한 열 특성: 고급 흑연은 열전도율이 우수하며 열전도율은 다른 재료보다 훨씬 높습니다. 열 팽창 계수는 작고 온도 변화를 경험할 때 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다.

● 좋은 기계적 특성: 고급 흑연은 내마모성과 인성이 우수하여 CVD 공정의 복잡한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

● 우수한 전도도: 전도도는 일반적인 비금속 광물보다 100 배 높습니다.

● 화학적 안정성: 산, 알칼리 및 유기 용매의 부식에 저항 할 수 있습니다.

또한, 중국의 고순도 흑연 회전 감수자의 주요 제조업체이자 공급 업체로서 Vetek Semiconductor는 고품질을 공급합니다.MOCVD 용 SIC 코팅 된 흑연 감수자, SIC 코팅 배럴 감수자, TAC 코팅 흑연 지지대그리고MoCVD SIC 코팅 감수기.Vetek Semiconductor는 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있으며 맞춤형 서비스를 지원합니다. 우리는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

반도체흑연 회전 감수자 제품 상점 :