실리콘 에피택시

실리콘 에피택시, EPI, 에피택시, 에피택시란 단결정 실리콘 기판에 동일한 결정 방향과 다른 결정 두께를 갖는 결정층의 성장을 의미합니다. 반도체에 포함된 불순물에는 N형과 P형이 포함되어 있기 때문에 반도체 개별 부품 및 집적회로 제조에는 에피택셜 성장 기술이 필요합니다. 다양한 유형의 조합을 통해 반도체 장치는 다양한 기능을 발휘합니다.

실리콘 에피택시 성장 방법은 기상 에피택시, 액상 에피택시(LPE), 고체상 에피택시로 나눌 수 있으며, 격자 무결성을 충족시키기 위해 화학 기상 증착 성장 방법이 전 세계적으로 널리 사용되고 있습니다.

전형적인 실리콘 에피텍셜 장비는 이탈리아 회사인 LPE로 대표되며, 팬케이크 에피택셜 하이프노틱터, 배럴형 하이프노틱터, 반도체 하이프노틱, 웨이퍼 캐리어 등을 보유하고 있습니다. 원통형 에피택셜 하이펠렉터 반응챔버의 개략도는 다음과 같다. VeTek Semiconductor는 배럴 모양의 웨이퍼 에피텍셜 하이 펠렉터를 제공할 수 있습니다. SiC 코팅 HY 펠렉터의 품질은 매우 성숙합니다. SGL과 동등한 품질; 동시에 VeTek Semiconductor는 실리콘 에피택셜 반응 공동 석영 노즐, 석영 배플, 벨자 및 기타 완제품도 제공할 수 있습니다.

실리콘 에피택시를 위한 수직 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

VeTek Semiconductor의 주요 수직 에피택셜 서셉터 제품

EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터 SiC 코팅 배럴 서셉터 CVD SiC 코팅 배럴 서셉터 LPE SI EPI 수용체 세트

실리콘 에피택시를 위한 수평 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

Vetek Semiconductor의 주요 수평 에피택셜 서셉터 제품

SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이 LPE PE2061S용 SiC 코팅 지원 흑연 회전 수신기

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CVD SIC 코팅 배플

Vetek의 CVD SIC 코팅 배플은 주로 Si epitaxy에 사용됩니다. 일반적으로 실리콘 확장 배럴과 함께 사용됩니다. CVD SIC 코팅 배플의 고유 한 고온과 안정성을 결합하여 반도체 제조에서 공기 흐름의 균일 한 분포를 크게 향상시킵니다. 우리는 우리의 제품이 고급 기술과 고품질 제품 솔루션을 제공 할 수 있다고 생각합니다.

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SIC 코팅 배럴 감수기

에피택시는 반도체 장치 제조에서 기존 칩에 새로운 결정을 성장시켜 새로운 반도체 층을 만드는 데 사용되는 기술입니다. VeTek Semiconductor는 LPE 실리콘 에피택시 반응 챔버를 위한 포괄적인 부품 솔루션 세트를 제공하여 긴 수명, 안정적인 품질 및 향상된 에피택시를 제공합니다. 레이어 수율. SiC Coated Barrel Susceptor와 같은 당사 제품은 고객으로부터 위치 피드백을 받았습니다. 또한 Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy 등에 대한 기술 지원도 제공합니다. 가격 정보는 부담 없이 문의해 주세요.

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EPI 수신기인 경우

중국 최고의 공장인 Vetek Semiconductor는 정밀 가공과 반도체 SiC 및 TaC 코팅 역량을 결합합니다. 배럴형 Si Epi Susceptor는 온도 및 분위기 제어 기능을 제공하여 반도체 에피택셜 성장 공정의 생산 효율성을 향상시킵니다. 귀하와의 협력 관계 구축을 기대하고 있습니다.

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SiC 코팅 에피 수용체

실리콘 카바이드 및 탄탈 룸 카바이드 코팅의 최고 국내 제조업체로서, Vetek 반도체는 SIC 코팅 EPI 감수체의 정밀 가공 및 균일 한 코팅을 제공하여 5ppm 미만의 코팅 및 생성물의 순도를 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 제품 수명은 SGL과 비슷합니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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EPI 서포터가 설정 한 경우 LPE

평평한 감수자와 배럴 감수자는 EPI 감수자의 주요 모양입니다. Vetek Semiconductor는 중국의 주요 LPE SI EPI 감수자 세트 제조업체 및 혁신가입니다. 우리는 수년간 SIC 코팅 및 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다. LPE PE2061S 4 "WAFERS를 위해 특별히 설계된 세트. 흑연 물질과 SIC 코팅의 일치하는 정도는 양호하고, 균일 성이 우수하고, 수명이 길고, 이는 LPE (액체 상 에피 택시) 동안 에피 택셜 층 성장의 수율을 향상시킬 수 있습니다. 과정. 중국의 공장을 방문하도록 환영합니다.

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EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터

배럴 유형 에피 택셜 웨이퍼 난방베이스는 복잡한 가공 기술을 갖춘 제품으로 가공 장비 및 능력에 매우 어려운 제품입니다. Vetek Semiconductor는 EPI를위한 SIC 코팅 흑연 배럴 감수자를 처리하는 고급 장비와 풍부한 경험을 가지고 있으며, 원래 공장 수명,보다 비용 효율적인 epitaxial 배럴과 동일하게 제공 할 수 있습니다. 우리의 데이터에 관심이 있다면, PLS는 저희에게 연락하지 않습니다.

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중국의 전문가 실리콘 에피택시 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 에피택시을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.