실리콘 에피택시

실리콘 에피택시, EPI, 에피택시, 에피택시란 단결정 실리콘 기판에 동일한 결정 방향과 다른 결정 두께를 갖는 결정층의 성장을 의미합니다. 반도체에 포함된 불순물에는 N형과 P형이 포함되어 있기 때문에 반도체 개별 부품 및 집적회로 제조에는 에피택셜 성장 기술이 필요합니다. 다양한 유형의 조합을 통해 반도체 장치는 다양한 기능을 발휘합니다.

실리콘 에피택시 성장 방법은 기상 에피택시, 액상 에피택시(LPE), 고체상 에피택시로 나눌 수 있으며, 격자 무결성을 충족시키기 위해 화학 기상 증착 성장 방법이 전 세계적으로 널리 사용되고 있습니다.

전형적인 실리콘 에피텍셜 장비는 이탈리아 회사인 LPE로 대표되며, 팬케이크 에피택셜 하이프노틱터, 배럴형 하이프노틱터, 반도체 하이프노틱, 웨이퍼 캐리어 등을 보유하고 있습니다. 원통형 에피택셜 하이펠렉터 반응챔버의 개략도는 다음과 같다. VeTek Semiconductor는 배럴 모양의 웨이퍼 에피텍셜 하이 펠렉터를 제공할 수 있습니다. SiC 코팅 HY 펠렉터의 품질은 매우 성숙합니다. SGL과 동등한 품질; 동시에 VeTek Semiconductor는 실리콘 에피택셜 반응 공동 석영 노즐, 석영 배플, 벨자 및 기타 완제품도 제공할 수 있습니다.

실리콘 에피택시를 위한 수직 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

VeTek Semiconductor의 주요 수직 에피택셜 서셉터 제품

EPI용 SiC 코팅 흑연 배럴 서셉터 SiC 코팅 배럴 서셉터 CVD SiC 코팅 배럴 서셉터 LPE SI EPI 수용체 세트

실리콘 에피택시를 위한 수평 에피택셜 서셉터:

Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy

Vetek Semiconductor의 주요 수평 에피택셜 서셉터 제품

SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이 LPE PE2061S용 SiC 코팅 지원 흑연 회전 수신기

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SIC 코팅 된 흑연 도가니 디플렉터

SiC 코팅 흑연 도가니 편향기는 단결정로 장비의 핵심 구성 요소이며, 그 임무는 용융된 재료를 도가니에서 결정 성장 영역으로 원활하게 안내하고 단결정 성장의 품질과 모양을 보장하는 것입니다.Vetek 반도체는 다음과 같은 작업을 수행할 수 있습니다. 흑연 및 SiC 코팅 재료를 모두 제공합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.

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LPE PE3061S 6 ''WAFERS 용 SIC 코팅 팬케이크 감수자

LPE PE3061S 6 ''WAFERS 용 SIC 코팅 팬케이크 감수자는 6 ''웨이퍼 에피 택셜 웨이퍼 처리에 사용되는 핵심 구성 요소 중 하나입니다. Vetek Semiconductor는 현재 중국의 LPE PE3061S 6 ''WAFERS 용 SIC 코팅 팬케이크 감수자의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. 그것이 제공하는 SIC 코팅 팬케이크 감수자는 높은 부식성, 우수한 열전도율 및 균일 성과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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LPE PE2061S에 대한 SIC 코팅 지원

Vetek Semiconductor는 중국의 SIC 코팅 흑연 구성 요소의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. LPE PE2061S에 대한 SIC 코팅지지는 LPE 실리콘 에피 택셜 반응기에 적합하다. 배럴베이스의 바닥으로서, LPE PE2061에 대한 SIC 코팅지지는 섭씨 1600 도의 고온을 견딜 수있어 매우 긴 제품 수명을 달성하고 고객 비용을 줄일 수 있습니다. 귀하의 문의와 추가 의사 소통을 기대합니다.

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LPE PE2061S용 SiC 코팅 상판

VeTek Semiconductor는 수년간 SiC 코팅 제품에 깊이 관여해 왔으며 중국에서 LPE PE2061S용 SiC 코팅 상판의 선도적인 제조업체 및 공급업체가 되었습니다. 우리가 제공하는 LPE PE2061S용 SiC 코팅 상단 플레이트는 LPE 실리콘 에피택셜 반응기용으로 설계되었으며 배럴 베이스와 함께 상단에 위치합니다. LPE PE2061S용 SiC 코팅 탑 플레이트는 고순도, 우수한 열 안정성, 균일성 등의 우수한 특성을 갖고 있어 고품질 에피층 성장에 도움이 됩니다. 귀하가 필요로 하는 제품이 무엇이든, 우리는 귀하의 문의를 기다리겠습니다.

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LPE PE2061에 대한 SIC 코팅 배럴 감수자

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 웨이퍼 감수체 제조 공장 중 하나 인 웨이퍼 감수체 제품에서 지속적인 진전을 이루었으며 많은 에피 택셜 웨이퍼 제조업체의 첫 번째 선택이되었습니다. Vetek Semiconductor가 제공하는 LPE PE2061에 대한 SIC 코팅 배럴 감수자는 LPE PE2061S 4 ''웨이퍼 용으로 설계되었습니다. 감수체는 내구성이 뛰어난 실리콘 카바이드 코팅을 가지고있어 LPE (액체 상피) 공정 동안 성능과 내구성을 향상시킵니다. 문의를 환영합니다. 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 에피택시 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 에피택시을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.