SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 트레이

Vetek 반도체의 SIC 코팅 단일 결정 실리콘 실리콘 에피 택셜 트레이는 단일 결정 실리콘 에피 택셜 성장을 위해 특별히 설계되었으며 단일 결정 실리콘 에피 택시 및 관련 반도체 장치의 산업 적용에 중요한 역할을합니다.SiC 코팅트레이의 내열성과 내식성을 크게 향상시킬 뿐만 아니라 극한 환경에서도 장기적인 안정성과 탁월한 성능을 보장합니다.

SIC 코팅의 장점

●  높은 열전도율: SiC 코팅으로 트레이의 열관리 능력이 대폭 향상되었으며, 고출력 기기에서 발생하는 열을 효과적으로 분산시킬 수 있습니다.

●  내식성: SIC 코팅은 고온 및 부식성 환경에서 잘 작동하여 장기 서비스 수명과 신뢰성을 보장합니다.

● 표면 균일 성: 평평하고 매끄러운 표면을 제공하여 표면 불분량으로 인한 제조 오류를 효과적으로 피하고 에피 택셜 성장의 안정성을 보장합니다.

연구에 따르면 흑연 기판의 기공 크기가 100~500 nm 사이인 경우 흑연 기판에 SiC 그라데이션 코팅을 제조할 수 있으며 SiC 코팅은 더 강한 항산화 능력을 갖습니다. 이 흑연(삼각형 곡선)에 있는 SiC 코팅의 내산화성은 다른 사양의 흑연보다 훨씬 강하며, 단결정 실리콘 에피택시의 성장에 적합합니다. VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 SGL 흑연을 재료로 사용합니다.흑연 기질, 이러한 성능을 달성할 수 있습니다.

VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 단결정 실리콘 에피택셜 트레이는 최고의 흑연 재료와 가장 진보된 SiC 코팅 처리 기술을 사용합니다. 가장 중요한 것은 고객이 어떤 제품 맞춤화 요구 사항을 갖고 있는지에 관계없이 최선을 다해 충족할 수 있다는 것입니다.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성

VeTek 반도체 생산 공장