실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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에피 웨이퍼 홀더

Vetek Semiconductor는 중국의 전문 EPI WAFER 홀더 제조업체 및 공장입니다. Epi Wafer Holder는 반도체 처리에서 에피 택시 공정을위한 웨이퍼 홀더입니다. 웨이퍼를 안정화시키고 에피 택셜 층의 균일 한 성장을 보장하는 핵심 도구입니다. MoCVD 및 LPCVD와 같은 에피 택시 장비에 널리 사용됩니다. 에피 택시 과정에서 대체 할 수없는 장치입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어

Vetek Semiconductor의 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어는 Aixtron 장비에 사용되는 웨이퍼 캐리어로, 주로 MoCVD 프로세스에 사용되며 특히 고온 및 고정밀 반도체 처리 프로세스에 적합합니다. 캐리어는 MoCVD 에피 택셜 성장 동안 안정적인 웨이퍼지지 및 균일 한 필름 증착을 제공 할 수 있으며, 이는 층 증착 공정에 필수적이다. 추가 상담을 환영합니다.

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LPE 하프문 SIC EPI 반응기

Vetek Semiconductor는 Professional LPE Halfmoon SIC EPI Reactor 제품 제조업체, 혁신가 및 중국의 리더입니다. LPE Halfmoon SIC EPI Reactor는 주로 반도체 산업에 주로 사용되는 고품질 실리콘 카바이드 (SIC) 에피 택셜 층을 생산하도록 특별히 설계된 장치입니다. 추가 문의에 오신 것을 환영합니다.

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따라서 코팅 EPI 수신기

Vetek Semiconductor는 중국의 SIC 코팅 EPI 감수자 제품의 주요 제조업체입니다. 수년 동안, 우리는 SIC 코팅 EPI 감수자, SIC 코팅 ALD 감수자 등과 같은 다양한 SIC 코팅 생성물에 중점을 두었습니다. 추가 상담을 환영합니다.

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CVD SIC 코팅 스커트

Vetek Semiconductor는 중국의 CVD SIC 코팅 스커트의 주요 제조업체이자 리더입니다. 당사의 주요 CVD SIC 코팅 제품에는 CVD SIC 코팅 스커트, CVD SIC 코팅 링이 포함됩니다. 연락을 기대합니다.

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UV LED EPI 주제

Vetek Semiconductor는 중국을 선도하는 반도체 감수체 제품 제조업체이자 리더로서 UV LED EPI 감수자, SIC 코팅 감수자, MOCVD 감수자와 같은 다양한 유형의 혹시 제품에 중점을두고 있습니다. Veteksemi는 맞춤형 제품 서비스를 지원하며 귀하의 상담을 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.