CVD SIC 코팅 흑연 감수자

CVD SIC 코팅 흑연 감수자는 반도체 산업에서 고정밀 제조를 위해 특별히 설계되었습니다. 흑연 기판은 CVD 공정에 의해 고급 SIC 층으로 코팅되며, 이는 고온 저항성, 부식성 및 산화 저항성이 우수하며 고온 및 진공 환경에서 오랫동안 안정적으로 작동 할 수 있습니다. 이 받침대는 MOCVD, PECVD, PVD 및 기타 장비에서 웨이퍼 및 기타 고정밀 재료의 가공 및 취급을 지원하기 위해 널리 사용됩니다.

핵심 장점 :

● 고온 안정성: 고급 흑연 자체는 우수한 열 안정성을 가지고 있습니다. SIC 코팅으로 코팅 된 후, 더 높은 온도의 극한 환경을 견딜 수 있으며 반도체 처리의 고온 공정에 적합합니다.

● 모서리이온 저항: CVD SIC 코팅은 산 및 알칼리 부식에 내성이 있으며 CVD 공정에서 서비스 수명이 길어질 수 있습니다.

● 높은 h열심 및 산화 저항: CVD SIC 코팅은 고온에서 우수한 경도, 긁힘 저항 및 산화 저항성을 가지며 재료의 안정성을 유지합니다.

● 좋은 열전도율: 흑연 기판과 CVD SIC 코팅 감수체의 조합은베이스가 열전도도가 우수하여 열전도를 효과적으로 전도하고 생산 효율을 향상시킬 수 있습니다.

제품 사양 :

● 재료: 흑연 기판 + CVD SIC 코팅

● 코팅 두께: 고객 요구에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다

● 적용 가능한 환경: 고온, 진공, 부식성 가스 환경

맞춤형 서비스 :

우리는 고객의 다양한 장비 및 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 고도로 맞춤형 서비스를 제공합니다. 고객의 특정 응용 프로그램에 따르면, 다른 코팅 두께가 다른 흑연베이스, 표면 처리 및 정밀도 수준을 제공 할 수 있습니다.

Veteksemi는 항상 CVD 실리콘 카바이드 코팅 산업에서 일해 왔으며 업계 최고의 CVD SIC 코팅 흑연베이스 생산 및 제조 수준을 보유하고 있습니다. 더 많은 제품 정보 또는 맞춤형 서비스가 필요한 경우 Vetek Semiconductor에 문의하십시오. 전문적인 지원을 진심으로 제공합니다.

CVD SIC 필름 결정 구조의 SEM 데이터 :

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