실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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LPE PE2061S용 SiC 코팅 상판

VeTek Semiconductor는 수년간 SiC 코팅 제품에 깊이 관여해 왔으며 중국에서 LPE PE2061S용 SiC 코팅 상판의 선도적인 제조업체 및 공급업체가 되었습니다. 우리가 제공하는 LPE PE2061S용 SiC 코팅 상단 플레이트는 LPE 실리콘 에피택셜 반응기용으로 설계되었으며 배럴 베이스와 함께 상단에 위치합니다. LPE PE2061S용 SiC 코팅 탑 플레이트는 고순도, 우수한 열 안정성, 균일성 등의 우수한 특성을 갖고 있어 고품질 에피층 성장에 도움이 됩니다. 귀하가 필요로 하는 제품이 무엇이든, 우리는 귀하의 문의를 기다리겠습니다.

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LPE PE2061에 대한 SIC 코팅 배럴 감수자

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 웨이퍼 감수체 제조 공장 중 하나 인 웨이퍼 감수체 제품에서 지속적인 진전을 이루었으며 많은 에피 택셜 웨이퍼 제조업체의 첫 번째 선택이되었습니다. Vetek Semiconductor가 제공하는 LPE PE2061에 대한 SIC 코팅 배럴 감수자는 LPE PE2061S 4 ''웨이퍼 용으로 설계되었습니다. 감수체는 내구성이 뛰어난 실리콘 카바이드 코팅을 가지고있어 LPE (액체 상피) 공정 동안 성능과 내구성을 향상시킵니다. 문의를 환영합니다. 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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견고한 SIC 가스 샤워 헤드

고체 SIC 가스 샤워 헤드는 CVD 공정에서 가스를 균일하게 만드는 데 중요한 역할을하여 기판의 균일 한 가열을 보장합니다. Vetek 반도체는 수년간 솔리드 SIC 장치 분야에 깊이 관여 해 왔으며 고객에게 맞춤형 솔리드 SIC 가스 샤워 헤드를 제공 할 수 있습니다. 귀하의 요구 사항이 무엇이든간에 귀하의 문의를 기대합니다.

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화학 기상 증착 공정 고체 SIC 에지 링

Vetek 반도체는 항상 고급 반도체 재료의 연구 개발 및 제조에 전념 해 왔습니다. 오늘날 Vetek 반도체는 화학 기증 공정 고체 SIC 에지 링 제품을 크게 진전 시켰으며 고객에게 고도로 맞춤형 솔리드 SIC 에지 링을 제공 할 수 있습니다. 솔리드 SIC 에지 링은 정전기 척과 함께 사용될 때 더 나은 에칭 균일 성과 정확한 웨이퍼 위치를 제공하여 일관되고 신뢰할 수있는 에칭 결과를 보장합니다. 귀하의 문의를 기대하고 서로의 장기 파트너가되기를 기대합니다.

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견고한 SIC 에칭 링

Solid SiC Etching Focusing Ring은 웨이퍼 식각 공정의 핵심 부품 중 하나로, 웨이퍼 고정, 플라즈마 집속, 웨이퍼 식각 균일성 향상 등의 역할을 합니다. VeTek Semiconductor는 중국 최고의 SiC 포커싱 링 제조업체로서 첨단 기술과 성숙한 프로세스를 보유하고 있으며 고객 요구 사항에 따라 최종 고객의 요구를 완벽하게 충족하는 Solid SiC Etching Focusing Ring을 제조합니다. 우리는 귀하의 문의를 환영하며 서로의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.