EPI 지지자

Vetek Semiconductor는 Professional Leader China Epi, Ald Planetary Tugor 및 TAC 코팅 흑연 지원 제조업체입니다. 그리고 우리의 EPI 지원은 중요한 구성 요소입니다에피 택셜 성장반도체 제조 공정에서. 주요 기능은 웨이퍼를지지하고 가열하여 고품질 에피 택셜 층이 웨이퍼 표면에서 균일하게 자랄 수 있도록하는 것입니다.

Vetek 반도체의 EPI 감수기는 일반적으로 고순도 흑연으로 만들어지고 실리콘 카바이드 층 (SIC)으로 코팅됩니다.이 디자인에는 다음과 같은 주요 장점이 있습니다:

● 고온 안정성: EPI 감수자는 고온 환경에서 안정적으로 유지되어 에피 택셜 층의 균일 한 성장을 보장 할 수 있습니다.

● 부식 저항: SIC 코팅은 부식성이 우수하며 화학적 가스의 침식에 저항하여 트레이의 서비스 수명을 연장 할 수 있습니다.

● 열 전도성: SIC 재료의 높은 열전도율은 가열 동안 웨이퍼의 균일 한 온도 분포를 보장하여 에피 택셜 층의 품질을 향상시킨다.

● 열 팽창 계수 일치: SIC의 열 팽창 계수는 흑연의 열 팽창 계수와 유사하며, 열 팽창 및 수축으로 인한 코팅 흘림 문제를 피합니다.

기본 물리적 특성CVD SIC 코팅:

CVD SIC 코팅 생산 상점:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요: