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유리 탄소 제품의 주요 중국 제조업체 인 Veteksemicon의 유리 탄소 도가킬은 우수한 초고 순도, 제로 다공성, 항-투과 및 우수한 화학적 부식 저항으로 인해 반도체 제조 분야에서 널리 사용되며 유럽과 미국 고객의 높은 찬사를 받았습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

Etching을위한 Veteksemicon의 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 실리콘 카바이드 코팅 제품의 주요 중국 제조업체이자 공급 업체로서 우수한 고온 안정성, 뛰어난 부식성 및 높은 열전도율로 에칭 공정에서 돌이킬 수없는 핵심 역할을합니다.

Veteksemicon의 CVD SIC 코팅 웨이퍼 감수자는 반도체 에피 택셜 프로세스를위한 최첨단 솔루션으로, 초고 순도 (≤100ppb, ICP-E10 인증) 및 GAN, SIC 및 실리콘 기반 EPI-Layers의 오염 저항성 성장에 대한 뛰어난 열/화학적 안정성을 제공합니다. 정밀 CVD 기술로 설계된이 기술은 6 인치/8”/12 인치 웨이퍼를 지원하고 최소 열 응력을 보장하며 최대 1600 ° C의 극한 온도를 견딜 수 있습니다.

우리의 SIC 코팅 행성 감수자는 반도체 제조의 고온 공정에서 핵심 성분입니다. 이 설계는 흑연 기판과 실리콘 카바이드 코팅을 결합하여 열 관리 성능, 화학적 안정성 및 기계적 강도의 포괄적 인 최적화를 달성합니다.

우리의 다공성 siC 세라믹 플레이트는 주요 구성 요소로서 실리콘 카바이드로 만든 다공성 세라믹 재료이며 특수 공정에 의해 처리된다. 그것들은 반도체 제조, 화학 증기 증착 (CVD) 및 기타 공정에서 필수 물질입니다.

Epitaxy에 대한 우리의 SIC 코팅 된 밀봉 링은 화학 증기 증착 (CVD)에 의해 고급 규모의 실리콘 카바이드 (CVD)로 코팅 된 흑연 또는 탄소-탄소 복합재를 기반으로 한 고성능 밀봉 성분이며, 이는 흑연의 열 안정성을 SIC의 극도의 환경 저항성을 결합하고 세미네도르 에피축 장비 (예를 들어)를 위해 설계된다.