정전기 흡입 컵의 제조 공정에서 대량 생산 제조업체까지

Dechuck 원리정전기 척정전기력 제거 및 웨이퍼 릴리스 메커니즘을 포함하는 워크 플로의 핵심 부분입니다. 다음은 자세한 분석입니다.

DeChuck의 핵심은 웨이퍼에 흡착 된 정전기력을 제거하거나 중화시키는 것이며 특정 방법에는 다음이 포함됩니다.

YouDaoplaceholder0은 전력을 차단했습니다

전기 전압을 전극에 적용하여 전기장을 점차적으로 제거하십시오.

YouDaoplaceholder0 역전 전압 또는 가스 주입 ‌

일부 시스템은 전하 중화 또는 물리적 분리를 가속화하기 위해 역전 전압을 적용하거나 불활성 가스를 도입합니다.

ESC 생산의 전문 기술을 비교하고 먼저 회사가 그러한 규모에 도달 할 수 있는지 확인합시다.

CAE 분석 기술, 플레이트 기능 재료, 전극 설계, 분석 기술, 냉각 채널 기술, 히터 설계 기술, 반도체 장비의 선임 인력.

일본 및 한국 기업은 그러한 관련 인력과 함께 직원을 직원으로 받아야합니다. 그렇지 않다면 회사의 기술에 대해 이야기 할 필요가 없습니다.

척 기술, 전극, 디스크 및 HE 흐름 원리조차 아직 명확하지 않았습니다. 거친 정전기 흡입 컵을 만들어 봅시다. 이러한 회사는 직접 통과됩니다. 그들은 기본적으로 투자자의 돈을 사로 잡는 데 사용됩니다. 이것은 아는 방법의 기본 수준입니다. 투자자들은 또한 카드 게임을 수행하는 회사를 포기해야하며 에칭 장비에 대한 10 년 이상의 경험을 가진 직원이없는 회사를 포기해야합니다. 왜냐하면 이것은 실용적인 일을하는 회사가 아니기 때문입니다.

업계에서 파우더 발사에 관해서는 모든 사람이 같은 분야에 있습니다. 각각 고유 한 공식이 있습니다. 소결 된 세라믹 표면이 장착 될 힘이없는 것은 무엇입니까? 투자자들은 또한 기본 논리가 동일하기 때문에 이러한 구성이나 완전히 파악하지 않은 회사를 전달할 수 있습니다. 제품을 개발하지 않고 돈을 버는 것을 목표로합니다.

수리와 관련하여 많은 국내 기업들은 지금까지 L1에서 L3에 해당하는 기능을 가져야합니다. 기능이 약간 부족하더라도 L1은 여전히 ​​처리 할 수 ​​있습니다. L3 이상의 경우 수리 할 수 ​​없거나 하청 계약을 할 수 있습니다. 어쨌든 여전히 수리 방법이 있습니다.

L1 수리 표면 수리, 표면 거칠기 개선/평탄도 개선/범프 재생.

L2 수리 : 조인트 층 복구, 금속베이스 및 세라믹 디스크의 재조정/조인트 층의 재 담당.

L3 수리 세라믹 디스크 교체, 세라믹 디스크 제조/금속베이스 및 세라믹 디스크의 리본 딩.

광동 아이 투오 혁신 정밀 장비 기술 회사, Ltd

이 회사는 핵심 기술로서 정전기 척을 기반으로하는 국내 정전기 척 및 장비의 설계 및 생산에서 선도적 인 위치를 차지하고 있습니다. 현재 Haituo Innovation은 정전기 흡입 컵의 상업적 생산을 달성했으며 4 인치 ~ 12 인치 반도체 Fab Electrostatic Chucks를 전달했습니다.

베이징 Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

회사가 독립적으로 개발 한 정전기 흡입 컵은 관련 표준 및 처리를 준수합니다.반도체 산업의 요구 사항. 초기 단계에서 개발 된 12 인치 PVD 알루미늄 질화물 정전기 흡입 컵은 어느 정도 까지이 제품 분야에서 외국 제조업체의 장기 독점을 깨뜨 렸습니다. 현재 Huazhuo Jingke는 정전기 흡입 컵의 관련 기술을 제품 제조에 적용하고 소규모 대량 생산을 달성했습니다. 또한 고객에게 맞춤형 제품을 제공 할 수도 있습니다.

2016 년에 설립 된 것은 반도체 산업을위한 고급 코팅 재료의 선도적 인 공급 업체입니다. 중국 과학 아카데미 (Chinese Academy of Sciences)의 재료 연구소 (Institute of Materials)의 전 전문가 인 설립자는 업계의 최첨단 솔루션 개발에 중점을 둔 회사를 설립했습니다.

우리의 주요 제품에는 CVD 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅, 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅, 벌크 SIC, SIC 파우더 및 고급 SIC 재료가 포함됩니다. 주요 제품은 SIC 코팅 흑연 감수자, 예열 링, TAC 코팅 전환 링, 하프 문 부품 등입니다. 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

IT가 개발 한 정전기 흡입 컵 제품에는 칩 제조 기업의 요구를 충족시킬 수있는 성능 지표가 있습니다. 그것들은 제어 가능한 온도, 균일 한 흡착력, 흡착 중 흠집이나 주름이 없으며 웨이퍼에 대한 가장자리 배제 효과와 같은 뛰어난 특성을 특징으로합니다. 그들은 Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics 및 North China Innovation과 같은 주요 국내 반도체 산업 기업으로 인증을 받았으며 판매를 달성했습니다. 이 제품 분야에서 외국 제조업체의 독점을 깨뜨 렸습니다.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

2022 년 에이 회사는 정밀 세라믹 구성 요소 분야에서 전략적으로 움직여 가열 플레이트 및 정전기 척과 같은 고도로 기술적 인 정밀 부품의 현지화를 달성했습니다. Zhongci Electronics가 개발 한 세라믹 가열 판의 핵심 기술 지표는 유사한 국제 제품 수준에 도달했으며 사용자에 의해 확인되었습니다. 주요 국내 반도체 장비에서 배치로 적용되었습니다. 세라믹 가열판은 대량으로 전달되었으며 정전기 척이 샘플 테스트를 위해 보내졌습니다.