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CVD SiC 코팅 링
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CVD SiC 코팅 링

CVD SIC 코팅 링은 하프문 부품의 중요한 부분 중 하나입니다. 다른 부분과 함께 SIC 에피 택셜 성장 반응 챔버를 형성합니다. Vetek 반도체는 전문 CVD SIC 코팅 링 제조업체 및 공급 업체입니다. 고객의 설계 요구 사항에 따라 해당 CVD SIC 코팅 링을 가장 경쟁력있는 가격으로 제공 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

반달부분에는 작은 부품이 많이 있는데, SiC코팅링도 그 중 하나입니다.CVD SiC 코팅CVD법으로 고순도 흑연링 표면에 CVD SiC 코팅링을 얻을 수 있습니다. SiC 코팅이 적용된 SiC 코팅 링은 내열성, 우수한 기계적 특성, 화학적 안정성, 우수한 열 전도성, 우수한 전기 절연성, 우수한 내산화성 등 우수한 특성을 가지고 있습니다.CVD SiC 코팅 링 및 SiC 코팅장의사함께 일하세요.


SiC coating ring and cooperating susceptor

SiC 코팅 링과 협력장의사

CVD SiC 코팅 링의 기능:



  ●   흐름 분포: SiC 코팅 링의 기하학적 설계는 균일한 가스 흐름장을 형성하는 데 도움을 주어 반응 가스가 기판 표면을 고르게 덮을 수 있도록 하여 균일한 에피택셜 성장을 보장합니다.


  ●  열교환 및 온도 균일성: CVD SiC 코팅 링은 우수한 열교환 성능을 제공하여 CVD SiC 코팅 링과 기판의 온도를 균일하게 유지합니다. 이는 온도 변동으로 인한 결정 결함을 방지할 수 있습니다.


  ●  인터페이스 차단: CVD SiC 코팅 링은 반응물의 확산을 어느 정도 제한하여 특정 영역에서 반응하도록 함으로써 고품질의 SiC 결정 성장을 촉진할 수 있습니다.


  ●  지원 기능: CVD SiC 코팅 링은 아래의 디스크와 결합되어 안정적인 구조를 형성하여 고온 및 반응 환경에서 변형을 방지하고 반응 챔버의 전반적인 안정성을 유지합니다.


Vetek Semiconductor는 항상 고객에게 고품질 CVD SIC 코팅 링을 제공하고 고객에게 가장 경쟁력있는 가격으로 솔루션을 완성 할 수 있도록 노력하고 있습니다. 어떤 종류의 CVD SIC 코팅 링이 필요한지에 관계없이 Vetek 반도체에 문의하십시오!


CVD SIC 필름 결정 구조의 SEM 데이터:


CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :


CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산
일반적인 값
결정 구조
FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도
3.21g/cm³
경도
2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기
2 ~ 10mm
화학적 순도
99.99995%
열용량
640 J · Kg-1·케이-1
승화 온도
2700 ℃
굴곡강도
415MPa RT 4점
영률
430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율
300W · m-1·케이-1
열 팽창 (CTE)
4.5 × 10-6K-1




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