반도체 석영 보트

반도체 석영 보트는 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 쿼츠 제품입니다. 주요 기능은 고온 용광로에서 웨이퍼를 운반하고 옮기는 것입니다. 반도체, 광전자 및 LED와 같은 정밀 산업에서 널리 사용됩니다. 확산, 산화, CVD 및 기타 공정에 적합합니다.

제품 기능 ：

• 고순도: 반도체 석영 보트는 불순물 함량이 매우 낮은 고급 쿼츠 재료를 사용하여 금속 이온 오염을 효과적으로 피하며 반도체 프로세스의 깨끗한 환경 요구 사항에 적합합니다.

• 고온 저항: 고온 저항이 우수하며 최대 1200 °의 환경에서 오랫동안 안정적으로 사용할 수 있습니다.

• 부식 저항: 산 및 알칼리와 같은 대부분의 화학적 시약에 대한 부식성이 우수하므로 CVD 용광로와 같은 반도체 장비의 화학 환경에 적응할 수 있습니다.

•좋은 열 안정성: 열 팽창 계수가 낮으며 가열시 변형이 쉽지 않으며 빈번한 가열 및 냉각 공정에 적합합니다.

명세서

• 생산 효율성을 향상시킵니다: 소형 설계, 쉬운 웨이퍼 전송 및 개선 된 공정 용량.

• 오염 위험을 줄입니다: 고급 쿼츠 재료, 프로세스에서 미량 불순물 오염을 줄입니다.

• 장수와 내구성: 고주파 사용에 적합한 고온 및 부식 저항, 교체 비용 절감.

Vetek 반도체는 고객에게 고품질의 고급 쿼츠 캐리어 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 모든 제품은 반도체 산업의 높은 표준을 충족시키기 위해 엄격하게 품질을 제어합니다.