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LED 에피택시 서셉터
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LED 에피택시 서셉터

VeTek Semiconductor의 LED 에피택시 서셉터는 파란색 및 녹색 LED 에피택셜 제조용으로 설계되었습니다. 탄화 규소 코팅과 SGL 흑연을 결합하여 경도가 높고 거칠기가 낮으며 열 안정성이 뛰어나고 화학적 안정성이 뛰어납니다. LED Epitaxy 서셉터는 VeTek Semiconductor의 가장 뛰어난 제품 중 하나입니다. 귀하의 문의를 기다리겠습니다.

청색 및 녹색 LED 제조 분야에서 현재 시장 최고의 제품 중 하나인 LED 에피택시 서셉터는 VeTek Semiconductor의 강력한 제조 역량을 입증합니다. 뛰어난 성능을 결합한탄화규소 코팅SGL 흑연의 우수한 특성을 갖춘 이 서셉터는 LED 에피택셜 성장을 위한 탁월한 지원을 제공하여 LED 기업이 치열한 시장 경쟁에서 두각을 나타낼 수 있도록 돕습니다.


핵심 소재의 장점


(I) 탄화규소 코팅

실리콘 카바이드 코팅은 LED 에피택시 서셉터에 탁월한 표면 경도를 부여하여 LED 에피택셜 성장 중에 다양한 물리적 마모 및 긁힘에 저항할 수 있습니다. 표면의 평탄도와 매끄러움을 오랫동안 유지하면 에피택시층 성장의 균일성이 영향을 받지 않아 제품의 수율과 일관성이 효과적으로 향상됩니다. 이를 통해 결정 결함의 형성을 줄이고 청색 및 녹색 LED의 발광 효율과 전기적 성능을 크게 향상시킵니다. 동시에,탄화규소 코팅화학적 안정성이 우수합니다. MOCVD 장비의 화학 반응물과 반응하지 않아 불순물 유입과 코팅 부식을 방지합니다.


(II) SGL 흑연

VeTek Semiconductor는 SGL 흑연을 기판으로 사용합니다. 청색 및 녹색 LED의 에피택셜 성장 중에 SGL 흑연은 반응으로 인해 발생하는 열을 빠르게 전도하여 서셉터의 온도 구배를 효과적으로 줄이고 전체 성장 영역의 온도 균일성을 보장할 수 있습니다. 이는 열 스트레스로 인한 결정 결함을 줄이고 LED 칩의 결정 품질과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.


SGL 흑연의 우수한 가공 성능 덕분에 서셉터는 다양한 유형의 MOCVD 장비 및 LED 제조 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 다양하고 복잡한 모양과 크기로 정확하게 가공될 수 있습니다.


SiC 코팅의 기술 성과 지표


SiC 코팅의 기술 성과 지표
재산
일반적인 값
결정 구조
FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
코팅 밀도
3.21g/cm³
SiC 코팅 경도
비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기
2~10μm
화학적 순도
99.99995%
SiC 코팅 열용량
640J·kg-1·케이-1
승화 온도
2700℃
굴곡강도
415MPa RT 4점
영률
430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율
300W·m-1·케이-1
열팽창(CTE)
4.5×10-6K-1

VeTek Semiconductor는 고객에게 LED 에피택시 서셉터에 대한 광범위한 기술 컨설팅 서비스를 제공할 수 있는 전문 기술 팀을 보유하고 있습니다. 제품의 원리와 특성, 프로세스 최적화 및 실제 응용 분야의 문제 해결 등 당사의 전문가는 고객의 기술 수준과 생산 능력을 향상시키기 위한 상세하고 전문적인 지침을 제공할 수 있습니다.


CVD SIC 코팅필름의 SEM 데이터

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


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