반도체를위한 PSS 에칭 캐리어 플레이트

● 정밀 디자인: 캐리어 플레이트는 반도체 웨이퍼를 가로 질러 균일하고 일관된 에칭을 보장하기 위해 정확한 치수와 표면 평탄 도로 설계됩니다. 웨이퍼를위한 안정적이고 제어 된 플랫폼을 제공하여 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 결과를 제공합니다.

● 혈장 저항: 캐리어 플레이트는 에칭 과정에 사용 된 혈장에 대한 우수한 저항성을 나타낸다. 그것은 반응성 가스와 고 에너지 혈장의 영향을받지 않아 장기간의 서비스 수명과 일관된 성능을 보장합니다.

● 열 전도성: 캐리어 플레이트는 에칭 공정 동안 생성 된 열을 효율적으로 소산하기 위해 높은 열전도율을 특징으로합니다. 이는 최적의 온도 제어를 유지하는 데 도움이되고 반도체 웨이퍼의 과열을 방지합니다.

● 호환성: PSS 에칭 캐리어 플레이트는 업계에서 일반적으로 사용되는 다양한 반도체 웨이퍼 크기와 호환되도록 설계되어 다양한 제조 공정에서 다양성과 사용 편의성을 보장합니다.

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