SiC 코팅 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

Vetek Semiconductor는 주로 수년간의 경험을 가진 SIC 코팅 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트를 주로 생산하는 중국 제조업체 및 공급 업체입니다. Sic 코팅 된 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 반도체 확산 용광로에 사용되어 이온 이식, 확산 및 어닐링과 같은 다양한 고온 공정을위한 웨이퍼를 운반하기 위해 사용됩니다. 웨이퍼에 안정적인 환경을 제공하여 가공 중 온도 균일 성과 일관성을 보장 할 수 있습니다.

SIC 코팅 된 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 더 높은 내열성 및 화학적 안정성을 가지므로 더 높은 온도에서 작동하고 더 긴 수명을 제공 할 수 있습니다. 또한, 이들은 재료 증발 속도와 가스 흡착 속도가 낮아서 웨이퍼 처리에 대한 불순물의 영향을 줄이는 데 도움이됩니다.

우리는 수평형 웨이퍼 보트, 수직형 웨이퍼 보트 및 기타 맞춤형 보트와 같은 다양한 유형의 탄화규소 웨이퍼 보트를 제조할 수 있습니다.

고순도 탄화규소의 장점:

1. 고온 안정성

2.화학적 불활성

3. 불순물 함량을 낮추십시오

4.열전도율

재결정 실리콘 탄화물의 물리적 특성

VeTek 반도체 생산 공장: